POLOSデスクトップ型「Spin 150i」レンタルサービス

手軽に試作実験が行える“レンタルサービス”を準備しています。

レンタルのメリット

  • 装置を購入するほど使用頻度が多くなく、必要な時に、必要な期間だけレンタルすることができます。
  • 資産として管理したくない方に最適です。
  • 装置購入前の性能チェックをリーズナブルなコストで行えます。

レンタル機種・金額・その他

レンタル基本セット

画像:デスクトップ型Spin150i

多目的スピンコーター

POLOSデスクトップ型「Spin150i」

画像:丸型基板用真空チャック

付属部品

丸型基板用真空チャック:A-V36-S45-PP (φ4インチ φ6インチ兼用)

画像:小型基板用真空チャック

小型基板用真空チャック:D-V10-S50-P

取り扱い説明書

1冊

レンタル価格

基本レンタル価格:45,000円(税別)/週
1週間(実働5日間)単位
以後は1日10,000円(税別)/日の追加料金が発生します。
他、輸送費(片道分)1,000円(税別)が別途発生します。

その他(オプション)

別途、特殊な用途向けで以下のようなオプション部品も準備することが可能です。
(納期がかかる場合があるため、事前にお問合わせ下さい。)

センタリングツール

センタリングツール

高速回転や均一性重視のプロセスで利用される場合に便利なウェハ中心出しのツールです。

P/N : 37819

[ レンタル価格 ]
10,000円(税別)/週

ポーラスチャック

ポーラスチャック

通常のOリングチャック(バキューム)では固定できない薄いウェハに対し、吸引力をウェハ全体に分散させることができるチャックです。薄いウェハをご利用の方にはおすすめです。

P/N : BER-CH-101.6/p80

[ レンタル価格 ]
10,000円(税別)/週

裏面フリーメカチャックホルダー

裏面フリーメカチャックホルダー

ウェハ裏面にパターンなどがあり、Oリングなどに接触させたくない場合など、ウェハ裏面を中空状態で固定させるホルダーです。

P/N : 27819 : φ4インチ基板用
P/N : 27443 : φ2,3インチ基板用
P/N : 38298 : φ4,6インチ基板用

[ レンタル価格(1種類)]
10,000円(税別)/週

Q&A

ウェットエッチングで使用した場合の薬品類の排出はどのように行えますか?
本体背面にドレイン口がついていますので、ホースと接続して頂ければ簡単に廃液処理が行えます。
操作は簡単でしょうか?
タッチパネル式のため簡単に操作できます。作成したレシピも保存可能です。
一式をレンタルした場合、ユーザー側で準備すべきユーティリティはありますか?
電源(SC100-200、50/60Hz)、真空ポンプ(真空チャック用)、圧縮エアー(冷却用)、廃液タンクをご準備頂きましたら、基本的には使用可能です。
レンタルの依頼から貸出しまでの一連の流れを教えて下さい。
レンタル依頼のお問合せ(お客様)→御見積回答(弊社)→ご注文及びデモ機貸出書の提出(お客様)→デモ機貸出(弊社)→ご返却(お客様)、の流れになります。
φ8インチ基板または 基板を処理することができますか?
デモ機はφ6インチ基板までが吸着可能ですので、φ8インチ基板の処理は不可となります。それ以下のサイズについては、付属の真空チャックで保持できるものであれば□基板でも問題ありません。
エッチング用途で使用する際、使用できない薬品などの制約事項はありますか?
製品本体は耐薬品性に優れた樹脂材質(NPP)ではありますが、念のために事前に使用される薬品情報を教えて頂く必要があります。 (こちらから使用可能な薬品をご確認頂けます。
使用後、洗浄して返却する必要はありますか?
洗浄してご返却お願いします。ふき取りが困難なような材料、用途の場合、装置内壁保護用プラスチック製カバーをオプションで販売することも可能です。
セットアップ~取り扱い説明をお願いしたい場合、対応してもらえますか?
対応可能です。また、ご使用の用途に対しての最適なプロセス(レシピ)提案も対応します。
※ご依頼場所が遠方になる場合は別途、出張対応費が発生してしまうことがあります。
1日、または2日のみでレンタルすることは可能ですか?
基本は1週間単位(土日祝含む)となります。延長がお受けできる場合もありますが、他の予約の状況次第となりますので、事前に延長の可否についてお問合わせ下さい。