微細加工装置(加工機)

R&D・試作から量産向けの、優れた微細加工装置(加工機)をご提案します。
MEMS、半導体、センサー、太陽電池、マイクロ流体チップ、ナノインプリントなど、ナノテクノロジーや微細加工を必要とする分野の研究開発から生産までをカバーする各種加工設備です。

マスクアライナー・UV光源・露光装置

UV光源メーカーとして実績あるOAI社のマスクアライナー・UV光源・露光装置、およびUV照度計の校正

  • MEMS
  • 半導体
  • PV
  • バイオ
  • NIL
位相シフトマスク露光装置 PhableR 100

EULITHA社独自の露光技術により、シンプルかつリーズナブルコストでDUV相当の高解像度が得られる、コンタクトレスのプロキシミティ露光装置

  • 半導体
  • NIL
樹脂性多目的スピンプロセッサー

オール樹脂性、ブラッシュレスモーター採用、豊富なオプションや拡張性を持ったスピンコーター“POLOS”。SPS社
レンタルサービスもあります。

  • MEMS
  • 半導体
  • PV
  • バイオ
  • NIL
デスクトップホットプレート

プリベーク・ポストベークに適した、デスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズ可能。SPS社

  • MEMS
  • 半導体
  • PV
  • バイオ
基板ホルダー

加工プロセスにおいて基板を固定・保護する為のホルダー。エッジエクスクルージョンを最小にしつつ、片面/両面の保護が可能。Silicet社

  • MEMS
  • 半導体
デスクトップめっきシステム

省スペース・リーズナブルコストの卓上型めっきシステム。モジュラー設計の為、柔軟なカスタマイズ可能。Silicet社

  • MEMS
  • 半導体
PSS量産システム

LED製造に用いられるPSS(Patterned Sapphire Substrate)の開発から量産まで、リーズナブルコストで実現できる協同インターナショナルが独自開発したシステム

  • NIL
デスクトップナノ粒子生成装置

安全性、環境性を考慮した設計のデスクトップタイプナノ粒子生成装置。スパークアブレーションのドライ技術によりナノ粒子のサイズ、純度、成分をコントロールの下、生成可能。

  • 半導体
  • PV
  • バイオ

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製品分類1 微細加工装置
製品分類2  マスクアライナー
プロセス分類 加工装置
サムネイル画像 微細加工装置(加工機)
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