微細加工装置（加工機）

R&D・試作から量産向けの、優れた微細加工装置（加工機）をご提案します。
MEMS、半導体、センサー、太陽電池、マイクロ流体チップ、ナノインプリントなど、ナノテクノロジーや微細加工を必要とする分野の研究開発から生産までをカバーする各種加工設備です。

UV光源メーカーとして実績あるOAI社のマスクアライナー・UV光源・露光装置、およびUV照度計の校正

EULITHA社独自の露光技術により、シンプルかつリーズナブルコストでDUV相当の高解像度が得られる、コンタクトレスのプロキシミティ露光装置

オール樹脂性、ブラッシュレスモーター採用、豊富なオプションや拡張性を持ったスピンコーター“POLOS”。SPS社製
レンタルサービスもあります。

プリベーク・ポストベークに適した、デスクトップサイズのホットプレート。用途に合わせたカスタマイズ可能。SPS社製

加工プロセスにおいて基板を固定・保護する為のホルダー。エッジエクスクルージョンを最小にしつつ、片面/両面の保護が可能。Silicet社製

省スペース・リーズナブルコストの卓上型めっきシステム。モジュラー設計の為、柔軟なカスタマイズ可能。Silicet社製

従来のフォトグラフィーと比べ、研究開発から量産まで、リーズナブルコストで実現できる協同インターナショナルが独自開発したシステム

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