デスクトップホットプレート

プリベーク・ポストベークに適した、デスクトップサイズのホットプレート。 用途に合わせたカスタマイズ可能。SPS社製

ホットプレート

SPS社製の精密ホットプレートです。この卓上型のホットプレートは、プレート(チャック)の交換やアップグレードが容易で、多目的かつR&Dやパイロット生産に最適です。

シングル及びダブル基板に対応しています(φ200mmウェハにも対応)。デュアルプロセッシング向けに、表面上にいくつかの異なる温度を設定する事が可能です。精密なデジタル温度コントローラーにより、1℃単位での温度設定が出来ます。ソフトベーク、ハードベーク処理、およびフォトレジストや樹脂のキュアリングや、精密な温度制御が必要とされるあらゆる工程に適しています。

特徴

  • 低い表面温度:ヒーティングユニットは傾斜状になっています(安全なハウジング温度)
  • 診断用シリアルインターフェース(RS232)
  • 精密温度制御システム: 温度の均一性.: +/- 0.5℃
  • デジタル温度コントローラー: 1℃単位で調整可能
  • アラートサウンド機能付きカウントダウンタイマー (1-999秒)

関連商材

樹脂性多目的スピンプロセッサー

オール樹脂性、ブラッシュレスモーター採用、豊富なオプションや拡張性を持ったスピンコーター“POLOS”。SPS社

  • MEMS
  • 半導体
  • PV
  • バイオ
  • NIL

検索用入力欄

記入時注意事項

  • テーブルの行列は変更しないでください。
  • 分類が複数ある場合は、| ←半角の縦棒で区切って連続で入力してください。
    また、区切り文字の前後に空白は入れないでください。
製品分類1 微細加工装置
製品分類2 ホットプレート
プロセス分類 加工装置
サムネイル画像 デスクトップホットプレート
説明文
リダイレクトURL