精密洗浄受託サービス

クリーン、低ダメージ、細部に及ぶ精密洗浄を要求される分野で培った経験と実績であらゆる分野の委託洗浄にお応え致します！

他社とはここが違います。

• 粗洗浄から精密洗浄まで
  永年の経験と実績から最適な洗浄方法を提案し、サンプルテストで確認を行います。
  自社独自技術のドライアイス洗浄と従来洗浄の組み合わせで、素材を傷つけない、極狭部の洗浄等も可能になります。
• 各種洗浄の相談承ります
  現在行われている洗浄をコスト・環境両面から見直します。
• 将来の内製化をサポートします
  将来は自社内洗浄を、とお考えのユーザー様に自動洗浄機開発のお手伝いをさせて頂きます。

受託洗浄の受け入れから出荷まで

• 見積り
  使用工程 （イオン注入、スパッタ、CVD、エッチング...）
  機種名
  デポ種　(使用ガス）
  より具体的に情報を頂けると、見積りもスムーズです。
  弊社で実績のないものは、テスト洗浄から行い、洗浄レシピを確立します。
• 納期：1週間前後

その①：細穴加工部分への洗浄

その②：イニシャル洗浄

イニシャル洗浄効果

• 新品部品の表面洗浄を行い、新品部品交換時の初期発生パーティクルを低減します。
• サブミクロン世代では、低パーティクルを目的としたイニシャル洗浄が求められています！

洗浄比較

Al₂O₃バルクとY₂O₃溶射の比較

洗浄方法／材質	Al2O3バルク	Y2O3溶射
未洗浄 赤丸枠がパーティクルそのもの！
ケミカル洗浄後 除去効果はいまひとつ！
ドライアイス洗浄後 滑らかな表面状態。 パーティクルは完全除去！

 

シュウ酸アルマイトと220 硫酸アルマイトの比較

洗浄方法／材質	シュウ酸アルマイト	220硫酸アルマイト
未洗浄
ケミカル洗浄後
ドライアイス洗浄後