| <ホール4:4B-104 出展内容> |
成膜加工(スパッタリング、CVD、蒸着)、パターン加工(フォトリソ・エッチング) |
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百数種のスパッタリング材料を所有。様々な仕様に応じた成膜をお請けいたします。
基板(Si、ガラス)の手配から対応いたします。ステッパー/コンタクトアライナー/EB描画とサイズに応じたパターン加工を対応いたします。ドライ/ウエット/リフトオフの対応が可能です。
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ターゲット・ボンディング加工 |
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太陽電池向けCu-Ga、Mo-Na、円筒型ターゲットの展示を行います。また円筒形ターゲットの供給やボンディングも対応します。
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受託洗浄 |
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洗浄物の材質、汚れによって様々な洗浄方法を提案いたします。
(ドライアイス洗浄/各種ブラスト洗浄/薬液洗浄等)
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ドライアイス洗浄機 |
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部材へのダメージが無く、廃液処理が不要の特徴 を持つ、ドライアイス洗浄装置の実機展示をいたします。
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半導体製造装置用消耗部品 |
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IMP、CMPの消耗部品を提供します。材質、形状を変えることでの長寿命化やコスト低減を提案いたします
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| <MEMSパビリオン:M-12 出展内容> |
MEMS試作受託 |
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1枚の試作から、中量産までトータルにサポートします。成膜、エッチング加工(ドライ、ウエット、犠牲層エッチング)、CMPなど。また、3D実装に有効な、TSV基板のサンプル品出展を行います。
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MEMS開発ツール |
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・樹脂製多目的スピンプロセッサー
・ウエハ裏面保護ウエットエッチングホルダー
・ナノインプリント対応両面露光マスクアライナー
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ナノインプリント(NIL) |
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ナノインプリント用モールド(金型)の作製&受託転写加工サービス。"初期評価用お試しモールド"(新製品:反射防止膜用モールド)ナノパターン、フォトニック結晶、マイクロレンズ形状など展示いたします。その他、微細モールド洗浄サービス、 微細モールド複製(レプリカ)サービス、シンガポールIMREとの提携によるエンジニアリングサービス。
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