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ITOスパッタ膜の透過率
| 波長（400nm） | 波長（600nm） | 波長（800nm） | |
|---|---|---|---|
| 中型機（膜厚100nm） | 85.8% | 89.7% | 88.5% |
| 大型機（膜厚100nm） | 84.0% | 86.8% | 87.7% |
| 中型機（膜厚300nm） | 58.7% | 88.2% | 86.8% |
| 大型機（膜厚300nm） | 55.1% | 84.4% | 81.6% |
- 中型機の上記透過率有効範囲は、外形Φ200mm xΦ80mm のドーナツ状。
（50mm角×6枚程度/バッチ、Φ8"×1枚/バッチは上記透過率より低下） - 大型機の上記透過率有効範囲は、Φ340mm以内。
(100mm角×16～20枚/バッチ 及び12"×4枚バッチ）
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