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スパッタリング装置仕様
| CFS-4ES型（1号機） | ||||
|---|---|---|---|---|
| スパッタ方式 | サイドスパッタ | 逆スパッタ | 可能 |  |
| 基板ホルダー | Φ200mm | 反応スパッタ | 可能 | |
| 膜厚分布 | ±10%位 | スパッタ用電源 | RF MAX 500W | |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
排気系 | 油拡散ポンプ 油回転ポンプ |
|
| 基板加熱 | MAX300℃ | |||
| SRV-4300型（2号機） | ||||
|---|---|---|---|---|
| スパッタ方式 | スパッタアップ | 逆スパッタ | 可能 |  |
| 基板ホルダー | Φ320mm | 反応スパッタ | 可能 | |
| 膜厚分布 | ±10%位 | スパッタ用電源 | RF MAX 500W DC MAX使用可能 |
|
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
バイアスパッタ | 可能 | |
| 基板加熱 | MAX300℃ | 排気系 | 油拡散ポンプ 油回転ポンプ |
|
| SRV-4310型（3号機） | ||||
|---|---|---|---|---|
| スパッタ方式 | スパッタアップ | 逆スパッタ | 可能 |  |
| 基板ホルダー | Φ320mm | 反応スパッタ | 可能 | |
| 膜厚分布 | ±10%位 | スパッタ用電源 | RF MAX 500W DC MAX使用可能 |
|
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
排気系 | クライオポンプ 油回転ポンプ |
|
| 基板加熱 | MAX300℃ | |||
| CFS-12P-100型（4号機） | ||||
|---|---|---|---|---|
| スパッタ方式 | スパッタアップ | 逆スパッタ | 可能 |  |
| 基板ホルダー | Φ396X4ステージ | 反応スパッタ | 可能 | |
| 膜厚分布 | ±10%位 | スパッタ用電源 | RF MAX 4KW DC MAX 使用可能 |
|
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
排気系 | クライオポンプ メカニカルブースターポンプ 油回転ポンプ |
|
| 基板加熱 | MAX180℃ | |||
| SDH10311型（5号機） | ||||
|---|---|---|---|---|
| スパッタ方式 | サイドスパッタ | 逆スパッタ | 可能 |  |
| 基板ホルダー | Φ410X4ステージ | 反応スパッタ | 可能 | |
| 膜厚分布 | ±10%位 | スパッタ用電源 | DC MAX 5KW | |
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
排気系 | クライオポンプ メカニカルブースターポンプ 油回転ポンプ |
|
| SRV-4320型（6号機） | ||||
|---|---|---|---|---|
| スパッタ方式 | スパッタアップ | 逆スパッタ | 可能 |  |
| 基板ホルダー | Φ320mm | 反応スパッタ | 可能 | |
| 膜厚分布 | ±10%位 | スパッタ用電源 | RF MAX 500W DC MAX使用可能 |
|
| スパッタ源 | マグネトロン式 スパッタ源3個 |
排気系 | ターボ分子ポンプ | |
| 基板加熱 | MAX300℃ | |||
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