ボンディング対応実績表
| 材料 |
|---|
| Ag, Ag-alloy |
| Al, Al2O3, AlN, Ai-Si, Al-Cu, Al-Si-Cu, Al-Ti, Al-Nd |
| Au, Au-Sn, Au-Zn, Au-Ge, AZO |
| Ba |
| C |
| Co, Co-Fe |
| Cr, Cr2O3, Cr-SiO |
| Cu, Cu2O |
| Fe, Fe2O3, Fe-Al |
| Ge, GZO |
| Hf |
| In, Ir, Ir-Re, ITO, IZO |
| Mo, MoSi2, MoW |
| Nb |
| Ni, Ni-Cr, Ni-Cu, Ni-Fe |
| Pb |
| Pd |
| Pt, Pt-Ir |
| Ru, Rh |
| Sb |
| Si, SiO2, Si2N4, SiC, Si-Ta |
| Sn, SnO2 |
| Sr, SrTiO3 |
| Ta, Ta2O5, TaN, Ta-SiO2 |
| Ti, TiO2, TiN, Ti-Al |
| W, W-Si |
| Y, Y2O3 |
| Yb, Yb2O3 |
| Zn, ZnO, Zn-Ni |
| Zr, ZrO2, ZrO2+Y2O3 |
| 形状（バッキングプレートサイズ） | |
|---|---|
| 最大サイズ | 1400mm×1400mm（枚葉式） |
| 最小サイズ | 400mm×1800mm（インライン式） |
スパッタリングターゲット
及びボンディング加工
TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）
株式会社 協同インターナショナル
〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
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