半導体製造工程における半導体製造装置（部品）洗浄では、一般的に、外注委託の洗浄業者による薬液洗浄が一般的です。しかし…

実際に、ドライアイス洗浄機「スーパーブラスト」で洗浄してみると…

薬液では落としきれないパーティクル・細穴部の最適洗浄例のご紹介

アルミナ部品	洗浄前	薬液洗浄後	スーパーブラスト洗浄後
細穴貫通部品	洗浄前	薬液洗浄後	スーパーブラスト洗浄後

結果的にこのようなメリットがあります

真空装置部品クリーニング処理を薬液洗浄から変更したことにより、ダミーランタイムの削減ができ、ライン立上げ時間を短縮できた。

当社ドライアイス洗浄機「スーパーブラスト」の、パウダー状の微細なドライアイスを吹きつける独自の方法により、半導体製造装置の部品表面に残留するパーティクルや、シャワープレート等の狭深部（細穴、スリット）への洗浄効果が向上します。