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精密洗浄受託サービス

ドライアイスブラスト剥離洗浄によりクリーンな洗浄を実現。受託洗浄の受け入れから出荷まで。

半導体、フラットパネルディスプレイ製造プロセスは日々進化し、超微細化における品質要求は、益々厳しくなっております。弊社のドライアイスブラスト剥離洗浄はエレクトロニクス分野に応用する独自性が認められ、特許認可を得るに至りました。
(特許NO:3030287)

ドライアイス(CO2)ブラスト剥離洗浄(クリーニング)の他、汚れの種類によっては、サンドブラスト、薬液、焼成、純水等の精密洗浄での対応も可能です。また、毒劇物の無害化処理についてもご相談下さい。

受託洗浄の受け入れから出荷まで

受託(お預かり)洗浄、精密洗浄サービス の作業フロー
  • 見積り
    使用工程 (イオン注入、スパッタ、CVD、エッチング...)
    機種名
    デポ種 (使用ガス)
    より具体的に情報を頂けると、見積りもスムーズです。
    弊社で実績のないものは、テスト洗浄から行い、洗浄レシピを確立します。
  • 納期:1週間前後

その①:細穴加工部分への洗浄

実例:ドライアイス(CO2)ブラスト洗浄(クリーニング)によるアルミアノダイズ皮膜付電極洗浄
(アルミアノダイズ皮膜付電極洗浄)
0.3mm粒経のドライアイスパウダーが、
より一層の洗浄効果をもたらします!
実例:ドライアイス(CO2)ブラスト洗浄(クリーニング)による洗浄前
(洗浄前)
実例:ドライアイス(CO2)ブラスト洗浄(クリーニング)による洗浄後
(洗浄後)

その②:イニシャル洗浄Close Up!

イニシャル洗浄効果
  • 新品部品の表面洗浄を行い、新品部品交換時の初期発生パーティクルを低減します。
  • サブミクロン世代では、低パーティクルを目的としたイニシャル洗浄が求められています!
グラフ:従来洗浄と実例:ドライアイス(CO2)ブラスト洗浄(クリーニング)のパーティクル比較
洗浄方法 材質
Al2O3バルク Y2O3溶射
未洗浄
赤丸枠がパーティクルそのもの!
写真:Al2O3バルク(未洗浄) 写真:Y2O3溶射(未洗浄)
ケミカル洗浄後
除去効果はいまひとつ!
写真:Al2O3バルク(ケミカル洗浄) 写真:Y2O3溶射(ケミカル洗浄)
ドライアイス洗浄後
滑らかな表面状態。
パーティクルは完全除去!
写真:Al2O3バルク(ドライアイス洗浄後) 写真:Y2O3溶射(ドライアイス洗浄後)
洗浄方法 材質
シュウ酸アルマイト 220
硫酸アルマイト
未洗浄 写真:シュウ酸アルマイト(未洗浄) 写真:硫酸アルマイト(未洗浄)
ケミカル洗浄後 写真:シュウ酸アルマイト(ケミカル洗浄) 写真:硫酸アルマイト(ケミカル洗浄)
ドライアイス洗浄後 写真:シュウ酸アルマイト(ドライアイス洗浄後) 写真:硫酸アルマイト(ドライアイス洗浄後)

*さらに詳しくは・・・精密洗浄受託サービス(専用ページ)

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