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電子部
TEL)044-852-7575
FAX)044-854-1979
装置仕様
作業雰囲気
主な加工内容
基板対応サイズ
常圧CVD
クリーンルーム、
基板洗浄可能
SiO2、PSG、他
4"、
5"
LP-CVD
クリーンルーム、
基板洗浄可能
poly-Si、他
2"、
3"、
4"、
6"
PE-CVD
クリーンルーム、
基板洗浄可能
SiO2、SiN
2"、
3"、
4"、
6"、
8"
TEOS
4"、
5"、
6"
スパッタ
リング
装置仕様
ターゲット
在庫表
受託解析
・分析
CVD
実績表
絶縁性特性
データ
ITO透過率
データ
パワー
デバイス用
裏面電極
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