ターゲット在庫表｜協同インターナショナル

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タイトル「ターゲット在庫表」

METALS

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
Au			-
Al
Ag			-	-
Bi		-	-	-
C			-	-
Co			-	-
Cr
Cu
Fe		-	-	-
Ge	-		-	-
Hf			-	-
In		-	-	-
Ir	-		-	-
Mg			-	-

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
Mo				-
Nb			-	-
Ni
Pd	-		-	-
Pt			-	-
Ru	-		-	-
Si(N)			-	-
Si(P)		-		-
Sn		-	-	-
Ta
Ti
V	-		-	-
W				-
Zn		-	-	-
Zr				-

OXIDES

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
Al₂O₃				-
CeO₂		-	-	-
CuO		-		-
Fe₂O₃		-	-	-
HfO₂		-		-
In₂O₃	-		-	-
MgO			-	-
Mn₂O₃	-		-	-
Nb₂O₅		-	-	-

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
SiO		-	-	-
SiO₂				-
SnO₂	-		-	-
TiO		-	-	-
TiO₂				-
Ta₂O₅			-	-
ZnO	-		-	-
ZrO₂			-	-

SILICIDES

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
CoSi₂	-			-
CrSi₂		-	-	-
MoSi_2.5			-	-
NiSi₂	-		-	-
TaSi₂	-		-	-

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
TiSi₂	-			-
WSi_0.4		-	-	-
WSi₂	-			-
WSi_2.5	-		-	-
ZrSi₂	-		-	-

NITRIDES

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
AIN			-	-
BN	-		-	-
Cr₂N		-	-	-

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
Si₃N₄				-
TIN			-	-
ZrN			-	-

CARBIDES

	1号機	2･3･6 号機	4号機	5号機
SiC				-
TiC		-		-
WC		-	-	-

ALLOYS

1号機

2･3･6
号機

4号機

5号機

Al-Cu

96:4wt%

-

-

-

〃	99.5:0.5wt%

-

Al-Sc

99.9:0.1wt%

-

-

-

Al-Si

99:1wt%

-

-

Al-Si-Cu

98.5:1:0.5wt%

-

Al-Ti

99.5:0.5wt%

-

-

-

Cu-Cr

92:8wt%

-

-

-

　〃

94:6wt%

-

-

-

　〃

96:4wt%

-

-

-

Cu-Ni

92:8wt%

-

-

-

-

　〃

94:6wt%

-

-

-

　〃

96:4wt%

-

-

-

Co-Cr

85:15wt%

-

-

-

Ni-Cr

80:20wt%

-

-

-

Ni-Cr-Si

40:40:20wt%

-

-

-

〃	45:45:10wt%

-

-

-

〃	48:48:4wt%

-

-

-

-

OTHERS

1号機

2･3･6
号機

4号機

5号機

コーニング #7059

-

-

-

コーニング #7570

-

-

-

サイアロン

-

-

センダスト

-

-

-

テフロン

-

-

-

パイレックス

-

-

BaTiO₃

-

-

BK 7

-

-

-

CrSiO

40:60wt%

-

-

-

ITO

-

IZO

-

-

LiNbO₃

-

-

-

PZT

-

-

SrTiO₃

-

-

TaSiO₂

20:80at%

-

-

-

　〃

30:70at%

-

-

-

　〃

40:60at%

-

-

-

　〃

45:55at%

-

-

-

Ta-SiO₂-Ni

65.7:32.7:1.6wt%

-

-

-

1号機	：	3"ターゲット使用			御支給のターゲットでの成膜も可能です。
2･3･6号機	：	4"ターゲット使用			ターゲットの販売も承っております。
4･5号機	：	8"ターゲット使用

スパッタ
リング
装置仕様

ターゲット
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データ

ITO透過率
データ

パワー
デバイス用
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