| CFS-4ES型（1号機） |
| スパッタ方式 |
サイドスパッタ |
逆スパッタ |
可能 |
 |
| 基板ホルダー |
 200mm |
反応スパッタ |
可能 |
| 膜厚分布 |
±10%位 |
スパッタ用電源 |
RF MAX 500W |
| スパッタ源 |
マグネトロン式
スパッタ源3個 |
排気系 |
油拡散ポンプ
油回転ポンプ
|
| 基板加熱 |
MAX300℃ |
|
|
| SRV-4300型（2号機） |
| スパッタ方式 |
スパッタアップ |
逆スパッタ |
可能 |
 |
| 基板ホルダー |
320mm |
反応スパッタ |
可能 |
| 膜厚分布 |
±10%位 |
スパッタ用電源 |
RF MAX 500W
DC MAX使用可能 |
| スパッタ源 |
マグネトロン式
スパッタ源3個 |
バイアスパッタ |
可能 |
| 基板加熱 |
MAX300℃ |
排気系 |
油拡散ポンプ
油回転ポンプ
|
|
|
| SRV-4310型（3号機） |
| スパッタ方式 |
スパッタアップ |
逆スパッタ |
可能 |
 |
| 基板ホルダー |
320mm |
反応スパッタ |
可能 |
| 膜厚分布 |
±10%位 |
スパッタ用電源 |
RF MAX 500W
DC MAX使用可能 |
| スパッタ源 |
マグネトロン式
スパッタ源3個 |
排気系 |
クライオポンプ
油回転ポンプ
|
| 基板加熱 |
MAX300℃ |
|
|
| CFS-12P-100型（4号機） |
| スパッタ方式 |
スパッタアップ |
逆スパッタ |
可能 |
 |
| 基板ホルダー |
396X4ステージ |
反応スパッタ |
可能 |
| 膜厚分布 |
±10%位 |
スパッタ用電源 |
RF MAX 4KW
DC MAX 使用可能 |
| スパッタ源 |
マグネトロン式
スパッタ源3個 |
排気系 |
クライオポンプ
メカニカルブースターポンプ
油回転ポンプ
|
| 基板加熱 |
MAX180℃ |
|
|
| SDH10311型（5号機） |
| スパッタ方式 |
サイドスパッタ |
逆スパッタ |
可能 |
 |
| 基板ホルダー |
410X4ステージ |
反応スパッタ |
可能 |
| 膜厚分布 |
±10%位 |
スパッタ用電源 |
DC MAX 5KW |
| スパッタ源 |
マグネトロン式
スパッタ源3個 |
排気系 |
クライオポンプ
メカニカルブースターポンプ
油回転ポンプ
|
|
|
| SRV-4320型（6号機） |
| スパッタ方式 |
スパッタアップ |
逆スパッタ |
可能 |
 |
| 基板ホルダー |
320mm |
反応スパッタ |
可能 |
| 膜厚分布 |
±10%位 |
スパッタ用電源 |
RF MAX 500W
DC MAX使用可能 |
| スパッタ源 |
マグネトロン式
スパッタ源3個 |
バイアスパッタ |
可能 |
| 基板加熱 |
MAX300℃ |
排気系 |
ターボ分子ポンプ |
|
電子部
