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ISO14001

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タイトル「グレースケールマスクによるマイクロレンズアレイなどの3Dフォトリソ加工」

グレーマスクを使用し、高精度のマイクロレンズアレイを作製します。
グレースケールマスクの設計製作からマイクロレンズアレイの製作まで対応致します。

マイクロレンズアレイ
マイクロレンズアレイのSEM
レンズピッチ: 1.5%
レンズSAG量: 1.5nm
レンズアレイピッチ 10〜1000
レンズSAG量 5〜100


レンズ精度



曲率精度: 1.5%
形状精度: 1.5nm
レンズアレイ領域 最大140mmまで
レンズアレイ材質 石英、シリコン、レジスト、金属(電鋳)

グレースケールマスク
グレースケールマスクSEM(透過率が低い領域) グレースケールマスクSEM(透過率が低い領域)
透過率が低い領域 透過率が高い領域
透過率範囲 5〜75%
透過率階調 0.1%以下/階調が可能
マスク基板大きさ 2〜8インチ
マスク基板厚さ 2〜10mm

工程の一部からでも加工可能です。仕様の詳細についてはお問合せ下さい。

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