協同インターナショナルトップへ
サイト内検索 powered by Google

最新情報

ISO14001

会社案内ダウンロード

電子部
TEL)044-852-7575
FAX)044-854-1979
タイトル「グレースケールマスクによるマイクロレンズアレイなどの3Dフォトリソ加工」

グレーマスクを使用し、高精度のマイクロレンズアレイを作製します。
グレースケールマスクの設計製作からマイクロレンズアレイの製作まで対応致します。

マイクロレンズアレイ
マイクロレンズアレイのSEM
レンズピッチ： 1.5%
レンズSAG量： 1.5nm
レンズアレイピッチ ： 10〜1000
レンズSAG量 ： 5〜100


レンズ精度

 ：
曲率精度： 1.5%
形状精度： 1.5nm
レンズアレイ領域 ： 最大140mmまで
レンズアレイ材質 ： 石英、シリコン、レジスト、金属（電鋳）

グレースケールマスク
グレースケールマスクSEM（透過率が低い領域） グレースケールマスクSEM（透過率が低い領域）
透過率が低い領域 透過率が高い領域
透過率範囲 ： 5〜75%
透過率階調 ： 0.1%以下/階調が可能
マスク基板大きさ ： 2〜8インチ
マスク基板厚さ ： 2〜10mm

工程の一部からでも加工可能です。仕様の詳細についてはお問合せ下さい。

""

会社概要｜採用情報｜アクセス｜リンク｜サイトマップ｜お問合せ
株式会社 協同インターナショナル
〒216-0033　神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
Copyright(C) KYODO INTERNATIONAL,INC.
All rights reserved.