電子部
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半導体製造装置用CMP/イオン注入/スパッタリング/CVD/エッチングの消耗パーツ（部品）
及び、改造パーツによる長寿命化（ロングライフ化）、静電チャック、リテーナーリングや
VATゲートバルブ再生等の高付加価値商品の供給によりランニングコスト削減を実現します。

- リテーナーリング再生 - NSKメガトルクモーター再生/修理（リペア） - ロータリーユニオン再生/修理（リペア） - プラテンモーター/ギアボックス再生/修理（リペア） - エンドポイントレーザー再生/修理（リペア） - 長寿命リテーナーリング - BCR：ボンディッドコンポジットリング - 低メンテナンスヘッドリテーナーリング - Flexure(フレクサー） - ベアリングアップグレード - デュアルチャネルアップグレードボード - パッドコンディショナーアップグレード - デジタルエンドポイント用スリップリング交換 - VMEプロセッサーボードアップグレード - ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード - ヒートシンク再生 - ダイレクトドライブ（DD）モーター再生/修理（リペア） - 電源・ボード修理（リペア） - ブッシング修理（リペア）

- スパッタリング - CVD - エッチング - イオンミリング - エッチング＆CVD （アルマイト再生/溶射）　 - RPS再生/修理（リペア） - 真空バルブ （VATゲート バルブ）再生/修理（リペア） - ステッピングモーター 再生/修理（リペア） - ヒーターベロー 再生/修理（リペア） - ロボット修理（リペア） - 電源（DC・RF各種）修理・ 中古品販売・ポンプオーバーホール ・ロータリーポンプ ・クライオポンプ ・ターボポンプ ・ドライポンプ 一元窓口で、メンテナンス/洗浄/ 部品交換〜改善提案まで 半導体・液晶デバイス製造装置 「保守トータルソリューション」 装置・部品洗浄でお困り の事はございませんか？ 精密洗浄受託サービス （専用ページ）