保守トータルソリューション

一元窓口で、装置のメンテナンス/洗浄/部品交換～改善提案まで
- 半導体・液晶デバイス製造装置向け「保守トータルソリューション」 -

お客様のラインを止めない為には、装置の定期的なメンテナンス/オーバーホール、洗浄、部品交換が欠かせません。協同インターナショナルでは、これらのサービスを一元窓口でご提供します。加えて、装置の改善・グレードアップのエンジニアリングも対応可能です。当社の保守トータルソリューションは、貴社の一層の装置活用をお手伝い致します。

お客様に合ったメンテナンスを提案します。是非お気軽にお問合せ下さい。

半導体製造装置用消耗パーツ
販売/再生/修理

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CMP装置用消耗パーツ

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CMPパーツ再生サービス

• リテーナーリング再生
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• ロータリーユニオン再生/修理（リペア）/オーバーホール
• プラテンモーター・ギアボックス再生/修理（リペア）/オーバーホール
• エンドポイントレーザー再生/修理（リペア）

CMP改造パーツ

• ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング
• BCR：ボンディトコンポジットリング
• 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
• Flexure(フレクサー）
• ベアリングアップグレード
• デュアルチャネルアップグレードボード
• パッドコンディショナーアップグレード
• デジタルエンドポイント用スリップリング交換
• VMEプロセッサーボードアップグレード
• ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード

イオン注入パーツ再生サービス

• ヒートシンク再生
• ダイレクトドライブ（DD）モーター再生/修理（リペア）
• 電源・ボード修理（リペア）
• ブッシング修理（リペア）

その他装置用消耗パーツ

• スパッタリング
• CVD
• エッチング
• イオンミリング

パーツ再生・修理サービス

• エッチング＆CVD（アルマイト再生/溶射）
• RPS再生/修理（リペア）
• 真空バルブ（VATゲートバルブ）再生
• ステッピングモーター 再生/修理（リペア）
• ヒーターベロー 再生/修理（リペア）
• ロボット修理（リペア）
• 電源（DC・RF各種）修理・中古品販売・ポンプオーバーホール

ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
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