パーツ再生・修理サービス 真空バルブ （VATゲートバルブ）再生

特徴

• リーズナブルプライス。
• 短納期対応：Max 30日（通常60日以上）。
• 信頼性の高い交換部品の採用。
• 動作確認用のコントローラーも準備可能
• リークチェック、バルブのオープン/クローズチェックも承ります。
• 納入後も安心してご利用頂ける３ヶ月保証。
• 修理も承ります。

再生サービスの流れ

再生サービス実績例（参考）

半導体製造装置用消耗パーツ
販売/再生/修理

• 半導体製造装置用消耗パーツ販売/再生/修理トップ
• 保守トータルソリューション

CMP装置用消耗パーツ

• 半導体製造装置用消耗パーツ

CMPパーツ再生サービス

• リテーナーリング再生
• NSKメガトルクモーター再生/修理（リペア）/オーバーホール
• ロータリーユニオン再生/修理（リペア）/オーバーホール
• プラテンモーター・ギアボックス再生/修理（リペア）/オーバーホール
• エンドポイントレーザー再生/修理（リペア）

CMP改造パーツ

• ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング
• BCR：ボンディトコンポジットリング
• 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
• Flexure(フレクサー）
• ベアリングアップグレード
• デュアルチャネルアップグレードボード
• パッドコンディショナーアップグレード
• デジタルエンドポイント用スリップリング交換
• VMEプロセッサーボードアップグレード
• ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード

イオン注入パーツ再生サービス

• ヒートシンク再生
• ダイレクトドライブ（DD）モーター再生/修理（リペア）
• 電源・ボード修理（リペア）
• ブッシング修理（リペア）

その他装置用消耗パーツ

• スパッタリング
• CVD
• エッチング
• イオンミリング

パーツ再生・修理サービス

• エッチング＆CVD（アルマイト再生/溶射）
• RPS再生/修理（リペア）
• 真空バルブ（VATゲートバルブ）再生
• ステッピングモーター 再生/修理（リペア）
• ヒーターベロー 再生/修理（リペア）
• ロボット修理（リペア）
• 電源（DC・RF各種）修理・中古品販売・ポンプオーバーホール

ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9

TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）