パーツ再生・修理サービス RPS再生/修理（リペア）

これまでブラックボックスとされていたRPS（Remote Plasma System)を
リーズナブルプライスで再生します。

特徴

• 純正の20～30%OFFのリーズナブルなオーバーホール価格です。
• 故障内容に応じた修理が可能なためリペアコストを最小限に抑えることができます。
  （例：リアクター全交換又は一部交換、クリーニングのみの場合）
• 専用テストシステムを用いて徹底した検査を実施していますのでリペア後は新品同様のパフォーマンスをお約束します。

再生／修理（リペア）サービスの流れ

その他「各種電源」、「マッチャー」、「モーター/ドライバー」、「バルブ」、「ポンプ」等の
再生修理、中古品も多数取り扱っております。

半導体製造装置用消耗パーツ
販売/再生/修理

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CMP装置用消耗パーツ

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CMPパーツ再生サービス

• リテーナーリング再生
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• プラテンモーター・ギアボックス再生/修理（リペア）/オーバーホール
• エンドポイントレーザー再生/修理（リペア）

CMP改造パーツ

• ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング
• BCR：ボンディトコンポジットリング
• 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
• Flexure(フレクサー）
• ベアリングアップグレード
• デュアルチャネルアップグレードボード
• パッドコンディショナーアップグレード
• デジタルエンドポイント用スリップリング交換
• VMEプロセッサーボードアップグレード
• ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード

イオン注入パーツ再生サービス

• ヒートシンク再生
• ダイレクトドライブ（DD）モーター再生/修理（リペア）
• 電源・ボード修理（リペア）
• ブッシング修理（リペア）

その他装置用消耗パーツ

• スパッタリング
• CVD
• エッチング
• イオンミリング

パーツ再生・修理サービス

• エッチング＆CVD（アルマイト再生/溶射）
• RPS再生/修理（リペア）
• 真空バルブ（VATゲートバルブ）再生
• ステッピングモーター 再生/修理（リペア）
• ヒーターベロー 再生/修理（リペア）
• ロボット修理（リペア）
• 電源（DC・RF各種）修理・中古品販売・ポンプオーバーホール

ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9

TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）