電源（DC・RF各種）修理・中古品販売・各種ポンプオーバーホール

電源

マッチャー

チラー

ロータリーポンプ

クライオポンプ

ターボポンプ

ドライポンプ

クライオポンプオーバーホール

豊富な実績と経験から、お客様の品質維持・稼働率向上・トータルコストダウンのご要求にお応えします。

特徴

• 標準交換部品の品質確保
• 品質を重視した負荷テスト(10K迄)
• 徹底したセカンドアレーとディスプレッサーの乾燥

検査機

コンプレッサ *その他 マルチ運転用あり

イオナイザー *6.7E-10Pa・m3/sec以下

チラー

作業内容

半導体製造装置用消耗パーツ
販売/再生/修理

• 半導体製造装置用消耗パーツ販売/再生/修理トップ
• 保守トータルソリューション

CMP装置用消耗パーツ

• 半導体製造装置用消耗パーツ

CMPパーツ再生サービス

• リテーナーリング再生
• NSKメガトルクモーター再生/修理（リペア）/オーバーホール
• ロータリーユニオン再生/修理（リペア）/オーバーホール
• プラテンモーター・ギアボックス再生/修理（リペア）/オーバーホール
• エンドポイントレーザー再生/修理（リペア）

CMP改造パーツ

• ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング
• BCR：ボンディトコンポジットリング
• 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
• Flexure(フレクサー）
• ベアリングアップグレード
• デュアルチャネルアップグレードボード
• パッドコンディショナーアップグレード
• デジタルエンドポイント用スリップリング交換
• VMEプロセッサーボードアップグレード
• ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード

イオン注入パーツ再生サービス

• ヒートシンク再生
• ダイレクトドライブ（DD）モーター再生/修理（リペア）
• 電源・ボード修理（リペア）
• ブッシング修理（リペア）

その他装置用消耗パーツ

• スパッタリング
• CVD
• エッチング
• イオンミリング

パーツ再生・修理サービス

• エッチング＆CVD（アルマイト再生/溶射）
• RPS再生/修理（リペア）
• 真空バルブ（VATゲートバルブ）再生
• ステッピングモーター 再生/修理（リペア）
• ヒーターベロー 再生/修理（リペア）
• ロボット修理（リペア）
• 電源（DC・RF各種）修理・中古品販売・ポンプオーバーホール

ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9

TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）

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