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その他装置用消耗パーツ エッチング
ドライエッチングは非常に過酷なプロセスです。
従ってチャンバー内パーツの消耗は極めて早く、パーツの価格も高額なものばかりです。当社が提供するエッチング装置用消耗パーツは幅広い商品ラインナップと、低コスト＆改善提案を軸にお客様に限りない付加価値を提供いたします。
| 対応機種 | TEL : 8500, UNITY, DRM, SCCM, 480, 580, 5000 Lam : Rainbow, Alliance, TCP-9400/9600 Anellva : ILD-4100 HITACHI : M308, M318, M511 |
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| 対応アイテム | 
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半導体製造装置用消耗パーツ
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