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その他装置用消耗パーツ CVD
プラズマ/常圧/低圧CVDプロセス向け消耗パーツをサポートいたします。シャワーヘッドなどの主要パーツからスクリュー等の小部品までの幅広い商品ラインナップ。メタルパーツ、SiC製品の試作・設計もお手伝いいたします。
| 対応機種 | ASM : ASM-3、Eagle-10 Novellus : Concept-One 150/200, Concept-Two アルキャンテック : APT-5800/5850 TEL : MB-2 Applied Materials : Ultima-HDP, DXZ |
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| 対応アイテム | 
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