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イオン注入パーツ再生サービス 電源・ボード修理（リペア）
修理～洗浄～オーバーホール～査定～校正～中古品販売に至るまで、
イオン注入装置に関わる幅広いニーズにお応えします。
修理実績電源・ボード類（代表例）
- DAQボード Version H, B
- G2パワーサプライ Hitek
- HVエクストラクションP/S（パワーサプライ）
- ソースサプレッションP/S
- アドバンスハイボルテージDualレンジPreアクセルPSU
- エクストラクションP/S HV Stack 80-HV Stack 80kV 4ディスク
- サプレッションP/S Glassman HV
- フィラメントP/S
- ソースマグネットP/S
- 160kVポストアクセルコンバーターP/S
- アナライザーP/S
- PSU XANTREX 7.5V 80A FIL MK5.5
- PSU XANTREX 600V 2A BIAS MK5.5
- PSU XANTREX 150V 7A ARC MK5.5
- ファーネルハイボルド 80kV 8kW Stack
- ガスボックス
- バッチノッチオリエンター（BNO）
- マイクロコントローラー
- チルトアームアッセンブリー
- クワドローテートグリッパー
- ホイールスピン電源アンプ
- バキュームゲージコントローラー
リストアップしたものはあくまで代表例です。
他にも対応できるものが多数ありますので是非一度お問合わせ下さい！
半導体製造装置用消耗パーツ
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- エンドポイントレーザー再生/修理（リペア）
CMP改造パーツ
- ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング
- BCR：ボンディトコンポジットリング
- 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
- Flexure(フレクサー）
- ベアリングアップグレード
- デュアルチャネルアップグレードボード
- パッドコンディショナーアップグレード
- デジタルエンドポイント用スリップリング交換
- VMEプロセッサーボードアップグレード
- ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード
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FAX：044-854-1979（代）
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神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
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