イオン注入パーツ再生サービス ヒートシンク再生

ダメージを受けたウェハステージ（Heat Sink）を、エラストマーの再コート+精密洗浄にて再生します。Lowコスト・短納期で新品同等のパフォーマンスを実現し、貴社のランニングコスト削減に貢献いたします。

再生前のヒートシンク
表面の温度分布

不均一の樹脂コーティングは
不十分なウェハ接触の
原因になります

再生後のヒートシンク
表面の温度分布

均一に樹脂コートされた
ステージは規則的な
熱伝達を実現します

再生前後の外観比較

特徴

• 再生前後でヒートシンクの重量にほとんど変化がありません。（下記データ参照！）
• 「導電性」、「非導電性」のコーティングが可能です。
• 新品購入時と比べて30～40%のコスト削減が可能となります。
• 再生により、ヒートシンクのタイムリーな交換が実現可能となります。

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