CMP改造パーツ ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング

• 純正品に比べ、最大4倍の寿命を実現します。
• サイドアタック、面内均一性の悪化等の2次的問題を解決！
• 再生可能です。

X3Gの性能：良質なCMPに求められる重要プロセスパラメータ

CMPにより良いリテーナーリングとは？新素材X3Gを使ったリテーナーリングなら、下表のような優位性があります。つまり、X3Gは従来のPPSの利点を保持しつつも、より良いプロセス結果を得られる、画期的な高性能樹脂と言えます。

X3Gがベストな理由／主な特徴

CMP用リテーナーリングを構成する素材は、硬ければ良いというものではありません。

X3G材の長寿命メカニズム
PPSの場合 サイドアタックによる凹みをリングの磨耗で相殺。 継続的な均一研磨が可能。しかし、リングは削れてしまう。	従来の長寿命樹脂の場合 リングは削れない。 しかし、サイドアタックによる凹みが残りCMPプロファイルに悪影響を及ぼす。	X3Gの場合 リングの磨耗を抑え、かつ、サイドアタックによる凹みも無くし、長寿命＆継続的に安定したCMPを実現！

従来の長寿命リテーナーリングが解決できなかった“樹脂のサイドアタックトラブル（内壁の打痕）”を樹脂への特殊処理を施すことで完全に克服しました。これによりPPSと同等レベルの安定したCMPを樹脂の厚みを犠牲にすることなく実現できます。

半導体製造装置用消耗パーツ
販売/再生/修理

• 半導体製造装置用消耗パーツ販売/再生/修理トップ
• 保守トータルソリューション

CMP装置用消耗パーツ

• 半導体製造装置用消耗パーツ

CMPパーツ再生サービス

• リテーナーリング再生
• NSKメガトルクモーター再生/修理（リペア）/オーバーホール
• ロータリーユニオン再生/修理（リペア）/オーバーホール
• プラテンモーター・ギアボックス再生/修理（リペア）/オーバーホール
• エンドポイントレーザー再生/修理（リペア）

CMP改造パーツ

• ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング
• BCR：ボンディトコンポジットリング
• 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
• Flexure(フレクサー）
• ベアリングアップグレード
• デュアルチャネルアップグレードボード
• パッドコンディショナーアップグレード
• デジタルエンドポイント用スリップリング交換
• VMEプロセッサーボードアップグレード
• ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード

イオン注入パーツ再生サービス

• ヒートシンク再生
• ダイレクトドライブ（DD）モーター再生/修理（リペア）
• 電源・ボード修理（リペア）
• ブッシング修理（リペア）

その他装置用消耗パーツ

• スパッタリング
• CVD
• エッチング
• イオンミリング

パーツ再生・修理サービス

• エッチング＆CVD（アルマイト再生/溶射）
• RPS再生/修理（リペア）
• 真空バルブ（VATゲートバルブ）再生
• ステッピングモーター 再生/修理（リペア）
• ヒーターベロー 再生/修理（リペア）
• ロボット修理（リペア）
• 電源（DC・RF各種）修理・中古品販売・ポンプオーバーホール

ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9

TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）