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CMP改造パーツ 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
このCMP用リテーナーリングデザインは、
スタンダードリングに典型的に見られがちな“振動対策”の設計を取り入れています。
パッドへの振動はパッドとリングを同時に傷つけてしまうトラブルに発展し、
そのため早期の消耗パーツ（部品）の交換が必要になったり、製品歩留りに大きく影響してきます。
SPM社が従来の問題を改善し、開発したこの
“低メンテナンスヘッドデザイン”は
この代表的な問題を解決し、
メンテナンスサイクルの延長、製品歩留りの向上に大きく貢献することができます。
下記のグラフは実際のタングステンCMPプロセスにおいて、スタンダードリング（OEM）とSPM社製低メンテナンスヘッドリング(SPM）を使った場合のウェハのディフェクト（欠陥数）を比較させたものです。
低メンテナンスヘッドリングがスタンダード品の1/2以下の欠陥数であることがわかります。
（つまりスタンダード品の2倍の製品が確保できることを意味しています。）
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