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CMP改造パーツ パッドコンディショナーアップグレード
改造タイプの「パッドコンディショナーヘッド (PCH)」は
現在お客様が抱える数多くの問題点を改善します。
またこれに付随するサービスとして、パッドコンディショナーヘッド及び
周辺設備（回転アーム、プーリー、プラテン等）へのセンサ取付けも行います。
これによりオンラインでの装置モニタリングが可能となり装置トラブルに起因した生産ロスを
最小限に抑えることができます。
改造PCH Step-1：
インバージョンピストンタイプPCH
インバージョンピストンタイプPCH
改造PCH Step-2：
オンライン検知システム
（センサ機能取付サービス）
オンライン検知システム
（センサ機能取付サービス）
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