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CMP改造パーツ Flexure(フレクサー)

CMP用コンディショニングヘッドに取り付くFlexureの耐久性(交換サイクル)を
大幅に延命させたSPM社の改良デザインです。
スタンダード品のおおよそ2~3倍の製品寿命を実現することができます。

画像:CMP 改造Flexure(フレクサー):半導体製造装置用改造パーツ(部品)
【改造Flexure(フレクサー)の大きな特徴】
  • 全体溶接のシングルマルチスポークの採用によりスタンダード品以上の耐久性を実現します。
  • ハブとスポークを溶接することで折り曲げても溶接部分に影響がない2重安全構造となっています。
  • 外周とスポークの接合部も極めて強固な設計になっています。
  • 従って応力による破損のトラブルを改善し、ライフ延長を実現します。
  • 独自のノウハウで磨き上げているため、仕上がり状態が極めて良好です。
  • 低価格かつ高性能。メンテナンスサイクルも延長し、結果として貴社に最高のコストパフォーマンスを提供いたします。
SPMロゴ

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