CMP改造パーツ デュアルチャネルアップグレードボード

アップグレードタイプの「PNEUTRONICSボード」を販売します。
従来品よりもキャリブレーションスピードを向上させるなど、数多くの付加価値をご提供します。

取り扱い品目

• アップグレード用アナログボード
• ノーマルオープンデジタルバルブカード
• ノーマルクローズデジタルバルブカード

特徴

• 純正品0500-01091、3200-01073（アナログボード）、3870-02365（ノーマルクローズデジタルカード）、3780-02366（ノーマルオープンデジタルカード）に対して完全に互換性があります。
• 純正品から置き換える際、ソフトウェアの変更は一切必要ありません。
• 純正品よりもより早いキャリブレーションが実現できます。
• バックサイドOリングインターフェースにおけるリーク問題を改善できます。
• 純正品よりもはるかにお安くご購入頂けます。

半導体製造装置用消耗パーツ
販売/再生/修理

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• 保守トータルソリューション

CMP装置用消耗パーツ

• 半導体製造装置用消耗パーツ

CMPパーツ再生サービス

• リテーナーリング再生
• NSKメガトルクモーター再生/修理（リペア）/オーバーホール
• ロータリーユニオン再生/修理（リペア）/オーバーホール
• プラテンモーター・ギアボックス再生/修理（リペア）/オーバーホール
• エンドポイントレーザー再生/修理（リペア）

CMP改造パーツ

• ロンガーライフ（長寿命）リテーナーリング
• BCR：ボンディトコンポジットリング
• 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
• Flexure(フレクサー）
• ベアリングアップグレード
• デュアルチャネルアップグレードボード
• パッドコンディショナーアップグレード
• デジタルエンドポイント用スリップリング交換
• VMEプロセッサーボードアップグレード
• ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード

イオン注入パーツ再生サービス

• ヒートシンク再生
• ダイレクトドライブ（DD）モーター再生/修理（リペア）
• 電源・ボード修理（リペア）
• ブッシング修理（リペア）

その他装置用消耗パーツ

• スパッタリング
• CVD
• エッチング
• イオンミリング

パーツ再生・修理サービス

• エッチング＆CVD（アルマイト再生/溶射）
• RPS再生/修理（リペア）
• 真空バルブ（VATゲートバルブ）再生
• ステッピングモーター 再生/修理（リペア）
• ヒーターベロー 再生/修理（リペア）
• ロボット修理（リペア）
• 電源（DC・RF各種）修理・中古品販売・ポンプオーバーホール

ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9

TEL：044-852-7575（電子部）
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