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CMP改造パーツ ベアリングアップグレード
- クリーナーブラッシュボックス及びパッドコンディショナー用 -
メンテナンス回数を減らし、ランニングコストを大幅に改善します。
- 耐腐食性を向上し、長寿命を実現！
- 2重シーリングによりコンタミネーションを低減！
- 特殊ベアリング潤滑油の採用により耐久性アップ！
- KaydonシリーズXベアリングとの100%の互換性！
純正ベアリング
- 真鍮＋ブナゴムの2段構造。
- そのためブナコムにクラックが発生し易い構造です。
- 化学反応によるシール、リテーナーの破壊
- HFガスによる腐食 - また外輪のみでシールしていることでグリースオイルの 漏れの原因となり、結果としてコンタミネーションの発生を加速します。
- 結果として1年間でのパーツ交換を余儀なくさせられます。
改造ベアリング
- SUS（400シリーズステンレス）＋テフロン＋SUSの3段構造。
- 耐腐食性の高いSUS材の採用により耐久性を向上。
- 内側と外側の両リテーナーでシール材（テフロン）を保持することでグリースの漏れをシャットアウト。
結果としてコンタミネーションの外部流出を無くします。
Si3N4製ベアリング
- 通常のセラミック製品と比べて熱衝撃抵抗性能に優れています。
- 低密度、高強度、低熱膨張、良耐腐食性、割れへのタフさの性能を兼ね備えています。
- Si3N4は精度の高い表面を維持しながら摩擦（摩耗）を減らし、温度を素早く拡散させます。
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