CMPパーツ再生 ロータリーユニオン再生/修理(リペア)/オーバーホール

ポリッシングヘッドへのエアー供給機構である
「ロータリーユニオン」をリーズナブルプライスで再生します。

特徴

• 200mm、300mm用CMP装置向けに対応可能です。
• 3ポート式、4ポート式のいずれのエアー供給方式にも対応しています。
• 他メーカー品の再生にも対応します。
• 実際のCMPプロセスにおける使用環境下と同一条件で検査を実施し品質保証します。
• 梱包用の専用通箱も準備します。
• 純正新品の50%、修理は30%強のコスト削減が実現できます。

半導体製造装置用消耗パーツ
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ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9

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