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CMPパーツ再生 NSKメガトルクモーター再生/修理(リペア)/オーバーホール
ポリッシングヘッド(研磨ヘッド)用“NSKメガトルクモーター”の再生修理です。
数種類の再生オプションがあるため、故障の内容に応じた
最も効果的(低コスト、短納期)な再生修理が可能となります。
- 典型的なモーター不具合の症状
- システム内での不十分な換気によってグリース硬化が起ります。
- 典型的なコントローラー不具合のメカニズム
- 長いケーブルが妨害となり、レジスターパックの破損につながります。
モーターを強引に使用し続けると、レジスターパックの破損につながります。
SPM社のサービス
- ベアリングコンパートメントサービス
-4.4℃~280℃(融点)の高温環境で使用できるグリースへと交換します。
全てのモーターは組み直し後、特有のエミュレーターソフトウェアでテストします。 - コントローラーサービス
コントローラー内のレジスターパックの交換も検討いたします。
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- 低メンテナンスヘッドリテーナーリング
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- パッドコンディショナーアップグレード
- デジタルエンドポイント用スリップリング交換
- VMEプロセッサーボードアップグレード
- ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード
イオン注入パーツ再生サービス
その他装置用消耗パーツ
パーツ再生・修理サービス
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