CMP半導体製造装置用消耗パーツ

米国SPM社製の半導体製造装置用 CMP リテーナーリングは純正品以上の高品質と世界各国から高い評価を得ています。長年に渡る“樹脂”に関するノウハウの蓄積により高グレードCMPパーツの設計を可能にし、メンテナンスコストの削減に大きく貢献いたします。

リテーナーリング

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• デジタルエンドポイント用スリップリング交換
• VMEプロセッサーボードアップグレード
• ウェットロボットモーター/エンコーダーアップグレード

イオン注入パーツ再生サービス

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その他装置用消耗パーツ

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パーツ再生・修理サービス

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• ステッピングモーター 再生/修理（リペア）
• ヒーターベロー 再生/修理（リペア）
• ロボット修理（リペア）
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ISO14001認証
ISAE160

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