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ナノインプリント初期評価用お試しモールド（金型）
NIL（ナノインプリント）や射出成型の初期検討、各種実験に適した、標準パターンのモールド（金型、スタンパー）です。
ニーズに応じて、ナノオーダからミクロンオーダまで最適なサイズのパターンを選択可能です。
を使います。お試しモールド＜1＞ 1 ～ 50µm
| パターン | モールド | 型番 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | 形状 | 材質 | |
| 1～50µm | 2µm | L/S２種類、ホール、 ピラーを混載 |
20×20mm (t=1mm) |
Si | DTM-1-1 |
| 5µm | DTM-1-2 | ||||
| 10µm | DTM-1-3 | ||||
お試しモールド＜2＞ 0.5 ～ 2µm
| パターン | モールド | 型番 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | 形状 | 材質 | |
| 0.5～2µm | 1µm | L/S、ホール、 ピラーを混載 |
20×20mm (t=1mm) |
Si | DTM-2-1 |
| 2µm | DTM-2-2 | ||||
| 0.5µm | 石英 | DTM-2-3 | |||
お試しモールド＜3＞ ナノパターンモールド
パターン（1）
パターン（2）
パターン（3）
| 種類 | パターン | モールド | 型番 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | エリア | 形状 | 材質 | ||
| パターン（1） | 50, 100, 150, 200nm |
100µm | L/S、ピラー、格子、 チェック、曲折を混載 |
1.1×1.7mm (8ヶ所) |
Φ2" (t=500µm) |
Si | DTM-3-1 |
| 石英 | DTM-3-2 | ||||||
| パターン（2） | 25nm (ハーフピッチ) |
40µm | L/S | 0.4×0.4mm (4ヶ所) |
20×20mm (t=525µm) |
Si | DTM-3-3 |
| 35nm (ハーフピッチ) |
50µm | 0.5×1.2mm (4ヶ所) |
DTM-3-4 | ||||
| パターン（3） | 35nm (ハーフピッチ) |
50µm | ホール (正方配列) |
0.4×0.4mm (4ヶ所) |
15×15mm (t=525µm) |
Si | DTM-3-5 |
| 45nm (ハーフピッチ) |
70µm | 0.6×0.6mm (4ヶ所) |
DTM-3-6 | ||||
* パターン(2)(3)は、パターンの一部に干渉不良が発生する場合があります。
お試しモールド＜4＞ マイクロレンズアレイ形状 ウェハーレンズの開発に最適！
| パターン | モールド | 型番 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | エリア | 形状 | 材質 | |
| (1) 約Φ3.8µm (2) 約Φ2.2µm (3) 約Φ1.3µm |
(1) 約0.85µm (2) 約0.32µm (3) 約0.12µm |
5×5mm (3ヶ所) |
20×20mm (t=1mm) |
Si | DTM-4-1 |
お試しモールド＜5＞ フォトニック結晶
パターン（1）
パターン（2）
| 種類 | パターン | モールド | 型番 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | エリア | ピッチ | 形状 | 材質 | ||
| パターン（1） | A部 275nm B部 225nm C部 175nm D部 125nm |
100 ～300nm |
ピラー (三方配列) (面取りした正方形) |
1×1cm (4ヶ所) |
A部 500nm B部 400nm C部 300nm D部 200nm |
Φ2" (t=525µm) |
Si | DTM-5-1 |
| パターン（2） | Φ240nm | ～300nm | ホール (正方配列) |
20×20mm | 350nm | Φ4" (t=525µm) |
Si | DTM-5-2 |
| ～150nm | 石英 | DTM-5-3 | ||||||
| Φ260nm | ～450nm | ホール (三方配列) |
20×20mm | 520nm | Si | DTM-5-4 | ||
| ～200nm | 石英 | DTM-5-5 | ||||||
| Φ300nm | ～450nm | 46×46mm | 600nm | Si | DTM-5-6 | |||
| ～200nm | 石英 | DTM-5-7 | ||||||
| Φ350nm | ～450nm | 20×20mm | 700nm | Si | DTM-5-8 | |||
| ～200nm | 石英 | DTM-5-9 | ||||||
| Φ300nm | ～1000nm | ピラー (三方配列) |
46×46mm | 600nm | Si | DTM-5-10 | ||
| ～300nm | 石英 | DTM-5-11 | ||||||
お試しモールド＜6＞ 反射防止膜
| 種類 | パターン | モールド | 型番 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | エリア | 形状 | 材質 | ||
| パターン（1） | 250nm | 250nm | 円錐形状 | 100×100mm | 120×120mm | Ni | DTM-6-1 |
| パターン（2） | 300nm | 350nm | 50×50mm | 70×70mm | DTM-6-2 | ||
| パターン（3） | 250nm | 250nm | 280×280mm | 300×300mm | DTM-6-3 | ||
| パターン（4） | 300nm | 350nm | 100×100mm | 120×120mm | DTM-6-4 | ||
* モールド厚み 100～300の範囲で選択可能
お試しモールド＜7＞ 0.5µm広範囲ナノパターン
| パターン | モールド | 型番 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | エリア | ピッチ | 形状 | 材質 | |
| 0.5µm | 1µm | L/S | 50×50mm | 1µm | Φ4" (t=1mm) |
Si | DTM-7-1 |
| Φ0.5µm | ホール (三方配列) |
DTM-7-2 | |||||
* つなぎ部分に1～2µmの隙間があります。
お試しモールド＜8＞ 高輝度モールド LED高輝度化の開発に最適！
| パターン | モールド | 型番 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | エリア | ピッチ | 形状 | 材質 | |
| Φ230nm | 200nm | ホール (三方配列) |
Φ120mm | 460nm | Φ120mm (t=0.775mm) |
Si | DTM-8-1 |
| ピラー (三方配列) |
DTM-8-2 | ||||||
お試しモールド＜9＞ 石英モールド
| パターン | モールド | 型番 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 | 深さ | 形状 | エリア | 形状 | 材質 | |
| 75、100、150、200nm | 200nm | L/S | 4×4mm (4ヶ所) |
20×20mm (t=0.85mm) |
石英 | DTM-9-1 |
| 60nm | 150nm | 24×24mm | 32×34mm (t=0.85mm) |
DTM-9-2 | ||
| 75nm | DTM-9-3 | |||||
| 100nm | DTM-9-4 | |||||
| Φ350nm | 350nm | ピラー(正方配列) | DTM-9-5 | |||
| Φ250nm | 250nm | ピラー(三方配列) | DTM-9-6 | |||
| Φ160nm | 350nm | Moth-eye (正方配列) | DTM-9-7 | |||
| Φ200nm | DTM-9-8 | |||||
| Φ250nm | Moth-eye (正方配列) | DTM-9-9 | ||||
＊予告なく仕様を変更させて頂く場合がございます。
＊モールド（金型）の一部分に、露光やエッチング不良、異物混入の箇所が発生する可能性があります。
ナノインプリント(NIL)
トータルソリューション
TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）
株式会社 協同インターナショナル
〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
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