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ナノインプリントお試しモールド(金型)

NIL(ナノインプリント)や射出成型の初期検討、各種実験に適した、標準パターンのモールド(金型、スタンパー)です。
ニーズに応じて、ナノオーダからミクロンオーダまで最適なサイズのパターンを選択可能です。

お試しモールド<1> 1 ~ 50µm

パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 形状 材質
1~50µm 2µm L/S2種類、ホール、
ピラーを混載
20×20mm (t=1mm) Si DTM-1-1
5µm DTM-1-2
10µm DTM-1-3

お試しモールド<2> 0.5 ~ 2µm

パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 形状 材質
0.5~2µm 1µm L/S、ホール、
ピラーを混載
20×20mm (t=1mm) Si DTM-2-1
2µm DTM-2-2

お試しモールド<3> ナノパターンモールド

パターン(1)
ナノインプリント用お試しモールド(金型・スタンパー):50~300nm図
パターン(2)
お試しモールド3 ナノパターン
パターン(3)
お試しモールド3 ナノパターン
種類 パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア 形状 材質
パターン(1) 50、 100、
150、 200nm
100nm L/S、ピラー、格子、
チェック、曲折を混載
1.1×1.7mm
(8ヶ所)
Φ2"
(t=500µm)
Si DTM-3-1
石英 DTM-3-2
パターン(2) 25nm
(ハーフピッチ)
40nm L/S 0.4×0.4mm
(4ヶ所)
20×20mm
(t=525µm)
Si DTM-3-3
35nm
(ハーフピッチ)
50nm 0.5×1.2mm
(4ヶ所)
DTM-3-4
パターン(3) 35nm
(ハーフピッチ)
50nm ホール
(正方配列)
0.4×0.4mm
(4ヶ所)
15×15mm
(t=525µm)
Si DTM-3-5
45nm
(ハーフピッチ)
70nm 0.6×0.6mm
(4ヶ所)
DTM-3-6
パターン(4) 125~150nm ~300nm L/S 30×30mm Φ4"
(t=500µm)
Si DTM-3-7
~150nm 石英 DTM-3-8
パターン(5) 90/250、
100/275、
120/300 nm 混載
~200nm 7×7mm
(3ヶ所)
Si DTM-3-9
~100nm 石英 DTM-3-10
パターン(6) 135/300、
175/400、
250/500、
300/600 nm 混載
~300nm 10×10mm
(4ヶ所)
Si DTM-3-11
~150nm 石英 DTM-3-12

* パターン(2)(3)は、パターンの一部に干渉不良が発生する場合があります。
* パターン(5)(6)の詳細については、お問合せください。

お試しモールド<4> マイクロレンズアレイ形状 ウェハーレンズの開発に最適!

パターン(1)
お試しモールド<4>	マイクロレンズアレイ形状 1
パターン(2)
お試しモールド<4>	マイクロレンズアレイ形状 2
パターン(3)
お試しモールド<4>	マイクロレンズアレイ形状 3
パターン(4)
お試しモールド<4>	マイクロレンズアレイ形状 4
パターン (5)
Trial Mold (4) Micro Lens Array5
パターン モールド 型番
種類 寸法 深さ エリア 形状 材質
(1) (A) 約Φ2.2µm
(B) 約Φ1.3µm
(C) 約Φ3.8µm
(A) 約0.32µm
(B) 約0.12µm
(C) 約0.85µm
5×5mm (3ヶ所) 20×20mm (t=1mm) Si DTM-4-1
(2) Φ20µm 3~4µm 60×60mm 70×70mm (t=1mm) DTM-4-2
(3) Φ15µm 2~3µm DTM-4-3
(4) Φ10µm DTM-4-4
(5) Φ9µm 5.5µm 50×50mm 70×70mm (t=300µm) Ni DTM-4-5
(6) 100×100mm 120×120mm (t=300µm) DTM-4-6

お試しモールド<5> フォトニック結晶

パターン(1)
お試しモールド5 フォトニック結晶 パターン1の図
パターン(2)
お試しモールド5 フォトニック結晶 パターン2の図logo of Euilitha
種類 パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア ピッチ 形状 材質
パターン(1) A部 275nm
B部 225nm
C部 175nm
D部 125nm
100
~300nm
ピラー (三方配列)
(面取りした正方形)
10×10mm
(4ヶ所)
A部 500nm
B部 400nm
C部 300nm
D部 200nm
Φ2"
(t=525µm)
Si DTM-5-1
パターン(2) Φ240nm ~300nm ホール (正方配列) 20×20mm 350nm Φ4"
(t=500µm)
Si DTM-5-2
~150nm 石英 DTM-5-3
Φ260nm ~450nm ホール (三方配列) 20×20mm 520nm Si DTM-5-4
~200nm 石英 DTM-5-5
Φ300nm ~450nm 46×46mm 600nm Si DTM-5-6
~200nm 石英 DTM-5-7
Φ350nm ~450nm 20×20mm 780nm Si DTM-5-8
~200nm 石英 DTM-5-9
Φ300nm ~450nm ピラー (三方配列) 46×46mm 600nm Si DTM-5-10
~200nm 石英 DTM-5-11
Φ130nm ~200nm ピラー (正方配列) 30×30mm 300nm Si DTM-5-12
~100nm 石英 DTM-5-13
Φ300nm ~450nm ホール (三方配列) Φ4">94% 600nm Si DTM-5-14
~200nm 石英 DTM-5-15
Φ350nm ~450nm ピラー (三方配列) 20×20mm 780nm Si DTM-5-16
~200nm 石英 DTM-5-17
Φ400nm ~450nm ホール (三方配列) 1500nm Si DTM-5-18
~200nm 石英 DTM-5-19
Φ400nm-650nm ~450nm 1000nm Si DTM-5-20
~200nm 780nm 石英 DTM-5-21
Φ400nm ~450nm ピラー (三方配列) 1500nm Si DTM-5-22
~200nm 1000nm 石英 DTM-5-23
Φ400nm-650nm ~450nm 1500nm Si DTM-5-24
~200nm 1000nm 石英 DTM-5-25

お試しモールド<6> 反射防止膜

Trial Mold  AR Pattern
パターン モールド 反射率 型番
寸法 深さ 形状 エリア 形状 材質
250nm 350nm 円錐形状 100×100mm 120×120mm(t=300µm) Ni 0.2%以下(500nm~) DTM-6-1
300nm 300nm 50×50mm 70×70mm(t=300µm) 0.6%以下(400nm~) DTM-6-2
250nm 350nm 200×200mm 250×250mm(t=300µm) 0.2%以下(500nm~) DTM-6-3
300nm 300nm 100×100mm 120×120mm(t=300µm) 0.6%以下 (400nm~) DTM-6-4
500nm 700nm 80×80mm 100×100mm(t=300µm) 0.2%以下 (900nm)
0.3%以下 (1500nm)
*近赤外用
DTM-6-5

* モールド厚み 100~300の範囲で選択可能

お試しモールド<7> 0.5µm広範囲ナノパターン

ナノインプリント用お試しモールド(金型・スタンパー):マイクロレンズアレイ形状図
パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア ピッチ 形状 材質
0.5µm 1µm L/S 50×50mm 1µm Φ4" or Φ6" (t=1mm) Si DTM-7-1
Φ0.5µm ホール (三方配列) DTM-7-2
ピラー (三方配列 DTM-7-3

* つなぎ部分に1~2µmの隙間があります。

お試しモールド<8> 高輝度モールド LED高輝度化の開発に最適!

ナノインプリント用お試しモールド:ウェハーレンズの開発に最適なマイクロレンズアレイ形状
パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア ピッチ 形状 材質
Φ230nm 200nm ホール (三方配列) Φ120mm 460nm Φ120mm (t=775µm) Si DTM-8-1
ピラー (三方配列) DTM-8-2

お試しモールド<9> 石英モールド

パターン モールド 型番
寸法 深さ 形状 エリア 形状 材質
75、100、150、200nm 200nm L/S 4×4mm (4ヶ所) 20×20mm (t=850µm) 石英 DTM-9-1
75nm 150nm 24×24mm 32×34mm (t=850µm) DTM-9-2
100nm DTM-9-3
Φ350nm 350nm ピラー(正方配列) DTM-9-4
Φ250nm 250nm ピラー(三方配列) DTM-9-5
Φ160nm 350nm Moth-eye (正方配列) DTM-9-6
Φ200nm DTM-9-7
Φ250nm Moth-eye (三方配列) DTM-9-8

*予告なく仕様を変更させて頂く場合がございます。
*モールド(金型)の一部分に、露光やエッチング不良、異物混入の箇所が発生する可能性があります。

お試しモールド<10> 回折格子モールド

回折格子モールド
タイプ パターン モ-ルド 型番
サイズ 深さ エリア 形状 材質
ライン 500nm 250nm 80 x 80mm 100 x 100 mm (t=300µm) Ni DTM-10-1
クロス DTM-10-2

お試しモールド<11> 光制御拡散モールド

光制御拡散モールド
タイプ 拡散角(FWHM) パターン モールド 型番
エリア 形状 材質
ライン 1°/80° 50 x 50mm 70 x 70 mm (t=300µm) Ni DTM-11-1
100 x 100mm 120 x 120 mm (t=300µm) DTM-11-2
円形 25° 50 x 50mm 70 x 70 mm (t=300µm) DTM-11-3
100 x 100mm 120 x 120 mm (t=300µm) DTM-11-4
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FAX:044-854-1979(代)
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