マイクロ流体チップ・µTAS

半導体微細加工技術を応用したマイクロ流体チップは、バイオ・医療・環境・化学など、様々な分野で広く使われています。
協同インターナショナルでは、
　1. 多種の基板材料に対応したチップ作製サービス
　2. ポンプやホルダ等の周辺機器
により、マイクロ流体チップ、µTASのあらゆるニーズにお応えします。

マイクロ流体チップ作製 ＆ チップ周辺機器サービス対応一覧表

◆ご希望の材料もしくは製品をクリックして下さい。◆

MEMSトータルソリューション

• MEMSトータルソリューショントップ

MEMS試作

• 成膜・エッチング受託加工
• グレースケールマスクによる3Dパターン形成
• CMP加工

MEMS量産

• MEMS量産
• Silex Microsystems社によるMEMSファウンドリーサービス各種資料

マイクロ流体チップ

• マイクロ流体チップ・µTAS
• マイクロ流体チップ・µTAS作製サービス
• マイクロチップ周辺機器

MEMS開発ツール

• MEMS開発ツール一覧
• 樹脂製多目的スピンプロセッサーラインアップ
• MEMS用UV露光装置ラインアップ
• ソーラーシミュレーター
• MEMS加工用基板ホルダーラインアップ

ISO14001認証
ISAE160

株式会社 協同インターナショナル

〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9

TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）