光透過性が高く、溶剤にも強い素材。ドライエッチング・ウェットエッチングによる微細加工や、オプティカルコンタクトや溶着接合など、多様な貼り合せ加工が可能。また、オランダMicronit microfluidics社との提携により、電極を間に挟み込んだ隙間の無いガラス接合も可能。

ドライエッチング加工例

ウェットエッチング加工例

電極付きチップ加工例

PDMSは、ポリジメチルシロキサンの略称で、シリコーン樹脂の一種。低価格で透明性に優れた生体適合性の素材。チップ作製にあたっては、Siモールド（金型）やレジストモールドを使用して転写成型します。

チップ写真

Siモールド微細パターン
を転写した例

レジスト型を転写した例

アクリル、COC、PETなどの汎用的な樹脂素材から、生体適合性が高い特殊開発樹脂まで、様々な樹脂素材の加工が可能です。

チップ製作にあたっては、ナノインプリント加工を用います。ナノインプリント加工について »

Si基板に微細加工し、ガラスと陽極接合したチップの製作が可能です。Siを半導体技術で加工する事により、高アスペクト比のパターン等を形成可能です。