電子部
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R＆D・試作から中量産向けの優れたMEMS開発加工ツール
を提案いたします。カスタマイズにも対応致します。

<<製品特徴>>

（1）

オール樹脂製のスピンプロセッサーだから…

・使い易い！＝汚れても簡単に洗浄できます。
・多目的に使える！＝エッチング、現像、スピンドライなど。
・薬品に対して強い！（ポリプロピレン　ｏｒ　テフロン）

（2）

ブラッシュレスモーター採用だから…

・重い基板でも正確に回転
・加速スピード設定や逆回転・0回転の設定が可能
・回転数は、最大 10000rpm。高粘度の材料コートが可能

（3）

豊富なオプションや拡張性があるから…

・チップサイズから大型基板(1000mm角）まで対応
・用途に応じて選択できる豊富なラインナップ
	＊滴下方式：マニュアル（MCD）/オートマチック（ACD）＊デスクトップタイｔプ/装置組込み型OEMタイプ＊ユーティリティー一体型枚葉式スピンプロセッサー"ミニウェットステーション"
・真空チャック、メカニカルチャックなど多様な基板保持方法が選択可能
・ポンプ、液槽、外部機器のフィードバック制御などカスタマイズ自由自在

- 高い技術に定評のある、アメリカOAI社のUV露光装置 --

<<製品特徴>>
（1）	コンパクトなR&D用途からセミ/フルオートマティックの中量産対応機までの豊富なラインナップ。
	<代表的なR&D用途の機種> マスクアライナー　Model200 マスクアライナー　Model800MBA


（2）	ライトソースのみの販売も行っております。
	UVライトソース Series30


（3）	オプションで専用「コントローラ」、「チャック」を追加するだけで、「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。

MEMS加工用基板ホルダー

--- 基板裏面を保護 ---

エッチャント基板裏面を完全に保護。
真空吸着による基板固定（低レジスト設計）です。
裏面コーティング、マスクが不要です。
コスト、工数を大幅に削減し、歩留まりも向上します。
各種基板対応。

株式会社協同インターナショナル
〒216-0033　神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9