MEMS開発ツール
R＆D・試作から中量産向けの優れたMEMS開発加工ツールをご提案します。
カスタマイズにも対応致します。
コーター・デベロッパー
樹脂性多目的スピンプロセッサー “POLOS”
≪製品特徴≫
（1）オール樹脂製のスピンプロセッサーだから…- 使い易い！＝汚れても簡単に洗浄できます。
- 多目的に使える！＝エッチング、現像、スピンドライなど。
- 薬品に対して強い！（ポリプロピレン or テフロン）
- 重い基板でも正確に回転
- 加速スピード設定や逆回転・0回転の設定が可能
- 回転数は、最大 10000rpm。高粘度の材料コートが可能
- チップサイズから大型基板(1000mm角）まで対応
- 用途に応じて選択できる豊富なラインナップ
＊滴下方式：マニュアル（MCD）/オートマチック（ACD）
＊デスクトップタイプ/装置組込み型OEMタイプ
＊ユーティリティー一体型枚葉式スピンプロセッサー"ミニウェットステーション" - 真空チャック、メカニカルチャックなど多様な基板保持方法が選択可能
- ポンプ、液槽、外部機器のフィードバック制御などカスタマイズ自由自在
プリベーク・ポストベーク
ホットプレート “POLOS”
プリベーク、ポストベーク、キュアリング各種ウエハーに対応
用途に合わせた拡張が可能
プロキシミティチャック、バキュームチャック、リフトピンタイプ
複数ヒーターを搭載するカスタマイズが可能。
| 制御温度（標準仕様） | 50℃～250℃ |
|---|---|
| 優れた温度均一性 | ±0.5℃ |
| タイマー設定 | 1～999秒 |
| メンテナンス性に優れた設計 | |
フォトリソグラフィー
MEMS加工用UV露光装置
高い技術に定評のある、アメリカOAI社のUV露光装置
≪製品特徴≫
（1）コンパクトなR&D用途からセミ/フルオートマティックの中量産対応機までの豊富なラインナップ。
＜代表的なR&D用途の機種＞
マスクアライナー Model200
マスクアライナー Model800MBA
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＜代表的なR&D用途の機種＞
マスクアライナー Model200
マスクアライナー Model800MBA
（2）ライトソースのみの販売も行っております。
UVライトソース Series30
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UVライトソース Series30
（3）オプションで専用「コントローラ」、「チャック」を追加するだけで、「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。
インプリントオプション資料ダウンロード（PDF 4.33MB）
ソーラーシミュレーター
OAI社のソーラーシミュレーターは太陽電池のエネルギー変換効率を
常に同じ条件で測定することを可能にする装置です
！ウェットエッチング
MEMS加工用基板ホルダー “Silicet”
基板裏面を保護
- エッチャント基板裏面を完全に保護。
- 真空吸着による基板固定（低レジスト設計）です。
- 裏面コーティング、マスクが不要です。
- コスト、工数を大幅に削減し、歩留まりも向上します。
- 各種基板対応。
IR検査
IR検査装置 “MEMSCAN”
- 非破壊で、エアーギャップ、メンブレン厚みの測定が可能です。
- 多層構造の各層の膜厚測定ができます。
- 高スループットで、試作/開発～量産まで対応できます。
| 基板サイズ | Φ3" - Φ300 |
|---|---|
| 測定可能膜種 | Si、石英 |
| 最少測定膜厚 | 3 - 4µm |
| 最大測定膜厚 | 1.5mm |
| 最少エアーギャップ厚み | 10µm |
|---|---|
| 最大エアーギャップ厚み | 5mm |
| 精度 | 0.15µm |
| 再現性 | 0.1µm |
| スループット | 80ポイント/min |
MEMSトータルソリューション
MEMS試作
MEMS量産
マイクロ流体チップ
MEMS開発ツール
TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）
株式会社 協同インターナショナル
〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
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