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MEMS加工用基板ホルダーラインアップ
| ケミカルエッチング用 | BASIC Ⅱ ケミカルエッチング用ウェハホルダー |
|---|---|
| PLUS Ⅱ ケミカルエッチング用ウェハホルダー | |
| 電解エッチング用 | PLUS EⅡ 電解エッチング用 ウェハホルダー |
| 電解メッキ用 | PLUS ⅡG 電解メッキ用 ウェハホルダー |
| アクセサリー | Silicet ウェハホルダー用アクセサリー - バキュームボックス - |
ケミカルエッチング用
BASIC Ⅱ ケミカルエッチング用ウェハホルダー
ウェハは、真空吸着により確実に固定され、基板裏面へのエッチャントの回り込みはありません。
| シーリング | EPDM or Viton |
|---|---|
| ホース | Norprene or Viton |
| 本体 | PTFE |
PLUS Ⅱ ケミカルエッチング用ウェハホルダー
二重のシールによりウェハ外周まで完全に保護。
ウェハは、真空吸着により確実に固定され、基板裏面へのエッチャントの回り込みはありません。
| シーリング | EPDM or Viton |
|---|---|
| ホース | Norprene or Viton |
| 本体 | PTFE |
| カバー | Glass or PMMA |
電解エッチング用
PLUS EⅡ 電解エッチング用 ウェハホルダー
保護エリア内のプレートに電極が埋め込まれています。電極を取るのが容易です。（数や配置は、カスタマイズ可能）ウェハは、真空吸着により確実に固定され、基板裏面へのエッチャントの回り込みはありません。対向電極 (Pt-Ir)は、別売りです。
| シーリング | EPDM or Viton |
|---|---|
| ホース | Norprene or Viton |
| 本体 | PTFE |
| カバー | Glass or PMMA |
電解メッキ用
PLUS ⅡG 電解メッキ用 ウェハホルダー
シーリングに電極が埋め込まれていますので、端子を取るのが容易です（数や配置は、カスタマイズ可能）ウェハは、真空吸着により確実に固定され、基板裏面へのエッチャントの回り込みはありません。
| シーリング | EPDM or Viton |
|---|---|
| ホース | Norprene or Viton |
| 本体 | PTFE or PMMA |
| カバー | Glass or PMMA |
アクセサリー
Silicet ウェハホルダー用アクセサリー - バキュームボックス -
＊写真と実際の製品の外観は
異なる場合があります。
異なる場合があります。
リークディテクション、セルフコントロール機能付き。
常時、最適な真空圧で基板を保持します。
操作が簡単！ 安全な作業性！
万が一、基板割れが発生しポンプ内に液体が侵入しても、安全に液体を排出します。
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FAX：044-854-1979（代）
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〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
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