電子部 TEL)044-852-7575 FAX)044-854-1979
給排水ライン
シャドウマスク技術が貴重なエッジビーズ除去工程を必要とする製品製造を容易にします
ユニフォーミティ（径内）
コリメーション（1/2角）
スペクトラム
3.5KW、5KW、は特注にて対応可能
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電子部
8"
6.5mm
Model200にIR方式両面アライメント昨日を追加。
Model 500シリーズマスクアライナーはより多くの用途向けに、幅広い特徴を提供します。 このモデルは、先端のR&Dや試作品、及びマイクロ流体製造（CLiPP）用途向けに理想的なパフォーマンスを発揮します。
Model 600は大きめのフォーマットに適したマスクアライメント露光システムです。フラットパネルディスプレイやその他の大型基板（最大20″×20″まで）のプロセス需要に対応します。
Model 5000はフルオートマチック仕様で全てコンピューター制御のモデルです。密着露光も対応可能であり、実際の生産や最先端のR&D向けに適したシステムです。
Model 2000は投光照明露光またはエッジビーズ露光が可能なフルオートマチックタイプの装置です。
大型基板用ライトソースグランド（LSG）シリーズは、平行ミラー技術を最適化するシステムです。LSGシリーズはビームサイズは20″×20″まで、ランプワット数も1kW〜12kWまで上げることができます。
OAIは正確な信頼性のある、校正機能を持ったデジタル測定システムを提供します。OAI製メーターはフォトリソグラフィー、UV安定装置、接着材やその他の材料向けのUV矯正システムのモニタリング用にデザインされています。