- 協同インターナショナルHOME
- 電子MEMS
- MEMSトータルソリューション
MEMSトータルソリューション
弊社のもつ半導体加工設備、材料知識、国内外のネットワークを使って、
様々なMEMSの試作から量産まで受託加工致します。
MEMS試作
- 成膜・エッチング受託加工
- 各種薄膜加工
（スパッタリング、CVD、蒸着など） - フォトリソ・エッチング加工
（ドライエッチング（ICP/RIE/D-RIE）、ウェットエッチング） - 犠牲層エッチング（HFベーパーエッチング）
- グレースケールマスクによる3Dパターン形成
- CMP受託加工
- MEMSに最適なCMPプロセスを受託。
MEMS開発ツール
R＆D・試作から中量産向けの優れたMEMS製作用加工ツールをご提案。
カスタマイズにも対応致します。
- MEMS加工用基板ホルダー
- 基板を真空吸着で固定するので裏面レジストやマスクが不要。基板の両面を加工するデバイスには最適なツールです。
- コンタクトアライナー、UVライトソース
- ラボ向けに最適なコンパクトなMEMS用UV露光装置（光源のみのご提供も可能）
両面露光対応- オプションでUVナノインプリント等も対応
- ソーラーシミュレーター
-
OAI社のソーラーシミュレーターは太陽電池のエネルギー変換効率を常に同じ条件で測定することを可能にする装置です。
- 樹脂製多目的スピンプロッセッサー
- 1台でコーティング、洗浄、乾燥、エッチングなど様々なプロセスに使用可能。樹脂ボディーだから,様々な材料を投入できます。また、メンテナンスも容易です。
- ホットプレート
- プリベーク、ポストベーク、キュアリング各種ウエハーに対応。用途に合わせた拡張も可能で、複数ヒーターを搭載するカスタマイズもできます。
- IR検査装置 MEMSCAN
- 非破壊で、エアーギャップ、メンブレン厚みの測定が可能。 多層構造の各層の膜厚測定ができます。 高スループットで、試作/開発～量産まで対応できます。
MEMSトータルソリューション
MEMS試作
MEMS量産
マイクロ流体チップ
MEMS開発ツール
TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）
株式会社 協同インターナショナル
〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
FAX：044-854-1979（代）
〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
