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電子MEMS

「試作から量産まで。材料から知財まで。」

スパッタリングターゲット・成膜/エッチング加工・半導体製造装置消耗パーツ・CO2洗浄・MEM関連商品/サービスといった技術を組み合わせ、開発・試作・量産のお客様の様々な課題に、最適なソリューションをご提供いたします。

注目アイテム

イオン注入サービス微細なパターンへの均一なコーティング技術。アスペクト比10の離型処理！スウェーデン・Silex社によるMEMS量産サービス大学（研究室）支援「あいのり」サービス

製品・サービス

磁性流体、真空シール、磁区観察用ツール
成膜・エッチング受託加工
サービスの特徴
各種基板手配
成膜加工(スパッタ、CVD、蒸着など)
イオン注入
フォトリソ・エッチング加工
CMP加工
スパッタリングターゲット及びボンディング加工
スパッタリングターゲット及びボンディング加工
ボンディング対応実績表
UT検査-超音波探傷機による検査
MEMSトータルソリューション
MEMSトータルソリューション
試作(成膜・エッチング・CMPなど)
MEMS量産
マイクロ流体チップ・µTAS
MEMS開発ツール
ナノインプリント（NIL）トータルソリューション
ナノインプリント(NIL)トータルソリューション
マスタ、モールド(金型)作製
初期研究用お試しモールド(金型)
ナノインプリント受託転写加工
ナノインプリント各種ソリューション
半導体製造装置用消耗パーツ＆パーツ再生
半導体製造装置用消耗パーツ販売/再生/修理
CMP装置用、イオン注入装置用
スパッタリング装置用、CVD装置用
エッチング装置用
その他(静電チャック、リテーナーリング、ゲートバルブ再生等)
保守トータルソリューション
精密洗浄の受託サービス
精密洗浄の受託サービス
独自のドライアイス洗浄やウェット、ブラスト洗浄による、精密洗浄の受託サービス。
＊さらに詳しくは･･･
精密洗浄受託サービス（専用ページ）
ドライアイスブラスト洗浄機
ドライアイスブラスト洗浄機「スーパーブラスト」
ドライアイスブラスト洗浄機ラインアップ
受託洗浄サービス
使用用途と洗浄動画のご紹介
ドライアイスブラスト洗浄とは？
磁性流体、真空シール、磁区観察用ツール
磁性流体応用製品
磁性流体シール
真空磁気シール
シグマーカー(磁区観察用磁性流体)
電子MEMS製品・サービスへのお問い合わせ
TEL：044-852-7575（電子部）
FAX：044-854-1979（代）
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〒216-0033
神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9
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(有)協同デリカ(非加熱食肉製品の専門スライス工場)

生ハム切り落とし公式サイト(ジャンボンフーズブランド)

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