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spsロゴ多目的スピンコーター POLOS

PhableR100

多目的スピンコーターPOLOSの最大の特徴は全てが樹脂で出来ている事にあります。 その為、レジストコート以外にエッチングなど、アルカリ性・酸性等の薬品洗浄が必要な目的にも使用する事ができます。

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スピンコーターとは

スピンコーターとは平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する装置です。装置の名称はスピナーとも呼ばれています。
回転速度が速いほど、生成される薄膜は薄くなり中心と周辺で膜厚を均質にする必要があります。

POLOSとは

オランダSPS社が開発したPOLOSは、樹脂を全面的に採用した樹脂製スピンコーターです。一般的なスピンコーターはステンレスを用いる為、金属汚染、耐薬液性、洗浄の手間の問題がありますが、樹脂製スピンコーターPOLOSにおいては、それらの課題に悩まされる事はありません。またシームレスに組み上げた密閉性の高い構造、静音性、安定性、加速度性に優れたモーターにより、安定して再現性の高い結果を得る事が出来るだけでなく、スピン現像、スピンエッチング、リンス/洗浄、スピン乾燥といった多目的に使用する事が出来ます。
また豊富なチャックがオプションとして用意されており、チップサイズから大径基板まで幅広い基板に対応します。
スタンドアロンモデルの他、ユーティリティーと一体化したウェットステーションタイプ、またウェットステーションに組み込む為のコンポーネントといったラインアップも充実しています。

 


 

POLOSラインアップ

  仕 様 使用例
ディス
ペンス
型式 タイプ
(型)
概略 対応基板
サイズ









コーティング
マニュ
アル
オート
マチック
マニュ
アル
Spin150i デスク
トップ
スタンダード型
  • 3つのプログラム用アウトプット端子付き。
    (例:ディスペンス ユニット、N2 ディフューザー等)
  • アウトプット端子の使用によりオートマチックディスペンスとして使用可能
φ160mm
(or 6”)
or 4”x4”
まで
-
Spin150i
-INT
組み
込み
-
Spin200i デスク
トップ
φ260mm
(or 8”)
or 6”x6”
まで
-
Spin200i
-INT
組み
込み
-
オート
マチック
POLOS200i
-ADV
デスク
トップ

アドバンスト型

  • LAN接続により無制限の I/O制御が可能。
  • 重い基板や高加速度に対応した高耐久性/ 高トルクのモーターを使用。
  • 様々なカスタマイズに 対応。
-
POLOS200i
-ADV-INT
組み
込み
-
POLOS300i
-ADV
デスク
トップ
φ360mm
(or 12”)
or 8”x8”
まで
-
POLOS300i
-ADV-INT
組み
込み
-

*オプションにより、最大角基板1000mmまで対応可能。

MEMS、R&D、少量生産向けに設計された樹脂製多目的スピンコーター"POLOS"

PhableR100

樹脂製の多目的スピンコーターPOLOSは、MEMS、研究開発、少量生産向けに設計されたスピンコーターです。
スタンダード型のSpin150i/200iと、アドバンスト型のPOLOS200i/300iシリーズがあります。
ボディ、モーター、チャック全てに樹脂を採用している為、金属汚染や煩雑な洗浄の心配なく、スピン現像、スピンエッチング、リンス/洗浄、スピン乾燥といった工程に利用可能です。

多目的スピンコーター"POLOS"の特徴

  • 樹脂製のスピンコーターだから…
    ・使い易い!=汚れても簡単に洗浄できます。
    ・多目的に使える!=エッチング、現像、スピンドライなど。
    ・薬品に対して強い!(ポリプロピレン or テフロン)
  • ブラッシュレスモーター採用だから…
    ・重い基板でも正確に回転
    ・加速スピード設定や逆回転・パドル動作の設定が可能
    ・回転数は、最大 12000rpm。高粘度の材料コートが可能
  • 豊富なオプションや拡張性があるから…
    ・チップサイズから大型基板(1000mm角)まで対応
    ・用途に応じて選択できる豊富なラインナップ
     *滴下方式:マニュアルタイプ/オートマチックタイプ
     *デスクトップタイプ/組み込みタイプ
     *ユーティリティー一体型枚葉式スピンプロセッサー"ミニウェットステーション"
    ・真空チャック、メカニカルチャックなど多様な基板保持方法が選択可能
    ・ポンプ、液槽、外部機器のフィードバック制御などカスタマイズ自由自在

ユーティリティー一体型スピンコーター"POLOS ミニウェットステーション(MWS)"

PhableR100

スピンコーターと高精度の薬液供給システムを一体化し、一つのプログラムで複数のプロセスを設定可能なシステムです。
キャビネット内には、薬液共有システム、廃液システム、排気システムが組み込まれ、センサによるアラーム監視機能も搭載され、安全性にも配慮されています。
スピンコーターは他モデル同様耐薬品性に優れた素材を使用(PP、PTFE等)。

ユーティリティー一体型スピンコーター"POLOS ミニウェットステーション(MWS)"の機能

基板サイズ Φ300mmモデル(~ 260までの基板処理可能)
Φ400mmモデル(~ 360までの基板処理可能)
カスタムで大型基板(~600 x 600mm)対応可能
チャンバー材質 PP、PTFE(TFM1600)、PFA、ECTFEより選択。
モーター
  • 標準タイプ
    1~10,000rpm、右回り、Φ8"基板使用時加速2,000回転/秒
  • ヘビーデューティータイプ
    1~10,000rpm、右回り&左回り、Φ8"基板使用時加速3,000回転/秒
上記タイプより選択。詳細なモニター仕様の違いはお問合せ下さい。
主なオプション
  • リニア駆動薬液供給アーム、薬液供給ノズル・ラインの増設、メガソニックの洗浄機構
  • 再循環可能な薬液供給、排気システム、高圧ジェット、薬液供給温度制御
  • 裏面および側面へのスプレーノズル取付け(例:エッジビード除去等)、各種チャック(真空、メカニカル、裏面保護等 300種類以上)、安全インターロック
*コンパクト、シンプルな筐体デザイン。
*お客様の仕様に合わせてカスタマイズ対応可能。
※詳細・カスタマイズはご相談下さい。

オリジナルミニウェットステーションの作製

多目的スピンコーターPOLOSのコンポーネントを利用して、お客様オリジナルのウェットステーションの製作にご利用頂く事が可能です。コンポーネントのみのご提供、またはシステムとしてウェットステーション全体のコーディネート、共に対応可能ですので、お問い合わせください。

POLOS 各種基板ホルダー

小型基板用真空チャック 画像:小型基板用真空チャック 丸型基板用真空チャック
2" ~ 300mm ウェハ 対応
画像:丸型基板用真空チャック
メカニカルチャック 画像:メカニカルチャック 丸型基板用
(真空チャック+位置決めセンタリングピン付)
画像:丸型基板用
角型基板用
メカニカルチャック
(マスク、液晶セル‥)
画像:角型基板用メカニカルチャック 丸型基板用
メカニカルチャック
(2"、3"、4"対応型)
画像:丸型基板用メカニカルチャック
その他真空チャック
カスタマイズ対応
画像:その他真空チャック その他 メカニカルチャック
詳細はお問合せ下さい。
画像:その他メカニカルチャック

耐薬品対応表

(参考)
チャンバー材質:NPP(Natural Poly Propylene)/標準 or PTFE(テフロン)/オプション
○:使用可能 -:使用不可 ▲:使用条件によっては破損の可能性があるため、お問合せください。
使用薬液 分子式 NPP PTFE
酢酸 C2H2O2
アセトン C3H6O
α-テルピネオール C10H18O
水酸化アンモニウム NH4OH
塩化アミル C5H11Cl -
メトキシベンゼン C7H8O
ベンゼン C6H6 -
臭素 Br -
クロロベンゼン C6H5OI
クロロホルム CHCl3
ジエチルケトン C5H10O
ジエチルマロネート C11H20O4
エチレングリコール C2H6O2
シクロヒキサン C6H12 -
シクロヘキサノン C6H10O -
フッ素 F2 - -
ヘキサメチルジシラザン C6H19NSi2
ヘキサン C6H14
臭酸 HBr
塩酸 HCI
フッ酸 HF
過酸化水素水 H2O2
ヨード I2
イソプロピルアルコール(IPA) C3H8O
トリメチルベンゼン C9H12
オゾン水 O3 & H2O
メタノール CH4O
メチルエチルケトン(MEK) C4H8O
塩化メチレン CH2CI2
メチルイソブチルケトン(MIK) C6H12O
N-メチル-2-ピロリドン(NMP) C5H9NO3
硝酸 HNO3
リン酸 H3O4P
フォトレジスト
ポリメチルメタクリレート(PMMA) C5H8O2
水酸化カリウム KOH
硫酸 H2SO4
テトラハイドロフラン(THF) C4H8O
トルエン C7H8
トリクロロエンタン(TCA) C2H3CI3
トリクロロエチレン(TCE) C2HCI3
キシレン C12H15O6

関 連 商 材
PhableR100

SPS社製の精密ホットプレートです。この卓上型のホットプレートは、プレート(チャック)の交換やアップグレードが容易で、多目的かつR&Dやパイロット生産に最適です。

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  • 細胞培養・イメージング
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