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精密機器メーカーOAI社製マスクアライナー・UV光源・UV照度計

OAIロゴ

OAI社とは

OAI社はカリフォルニア州のシリコンバレーに所在し、40年以上の歴史を持つ、ソーラー、半導体、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリントといった先端分野向けの精密機器を製造する光源メーカーです。
経済的かつ、充分に技術検証されたソリューション。それがOAIブランドのコアバリューです。

単に設備資産を販売する事と、お客様固有の要望に対して実際に高度に機能するソリューションを提供する事。そこには明らかな違いがある事をOAI社は熟知しています。この点においてOAIは他社に比べ非常に優れている定評があります。そして長くは数十年に渡り、協業相手かつパートナーとしての関係をお客様と築いてきました。世界中で1000台以上の販売実績を有しております。

経済的で費用対効果が高いソリューションがOAIの証です。UV光源をはじめとする機器の長年の製造経験を通じて、OAI社はモジュラー化されたサブシステムの確立された試験方法を有しており、これがカスタム構成の装置を経済的に提供できる理由です。
この手法は、コストのみならず信頼性、装置拡張性、そして究極的にはお客様のトータル所有コストの低減に寄与します。

是非、当社の専門チームにお問い合わせ頂き、お客様のR&Dや製造における、効率化や経済化のチャレンジについてご相談ください。
R&DツールからUV量産装置まで、OAI社はお客様のあらゆるステップに寄り添うパートナーです。

当社ではマスクアライナー、UV露光装置、UV光源、UV照度計といった装置を取り扱っています。

 


 

OAI社製品の特徴

  • コンパクトなR&D用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。
  • ライトソースのみの販売も行っております。
  • 永年の製造経験に基づき、充分にテスト・検証されたモジュラー部品を組み上げる事により、経済的かつ信頼性・拡張性に優れたシステムを提供。
  • リソグラフィー、マイクロ流体、ナノインプリント、UV硬化(キュア)、太陽電池(ソーラー)、抵抗特性評価など。

マスクアライナー

  • マスクアライナーとは紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼付する装置で、マスクアライメント装置とも呼ばれます。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量など多岐にわたっています。
    一般的にトランジスタ、ICなどの半導体素子製造に使用される場合がほとんどですが、LCDガラスのパターン形成や水晶発振子の製造などにも用いられます。
  • OAI社のマスクアライナーは世界中でR&Dおよび量産向けに使用されています。信頼性、耐久性、技術優位性の面で他社製品より優れているとお客様からの評価を頂いています。
    特にコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとして定評があります。
  • オプションでコントローラ、チャックを追加するだけで「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。
  • 半導体、ディスプレイ、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリント、医療/バイオ、太陽電池(ソーラー)用途に最適です。
マスクアライナーのラインナップ
型式 タイプ 用途 アライメント方式 基板サイズ 操作
Model200 マニュアル式片面マスクアライナー R&D 片面 ~Φ8" マニュアル
Model200IR IR方式両面マスクアライナー R&D IR両面可能 ~Φ8" マニュアル
Model800MBA セミオート両面マスクアライナー R&D
量産用
光学両面可能 ~Φ8" セミオートマチック
Model6000 全自動両面マスクアライナー 量産 光学両面可能 ~Φ12" or ~□12" オートマチック
Model6000E 大型基板向けマスクアライナー R&D
量産
片面 ~20" or ~20" マニュアル
Model2000 エッジビーズ露光システム 量産 片面 ~Φ8" オートマチック

Model200 : マニュアル式片面マスクアライナー R&D用
写真:Model200 : マニュアル式片面マスクアライナー

Model 200マスクアライナーはテーブルトップ装置で、初級向けのリーズナブルでシンプルなシステムです。

モデル 200
基板 対応サイズ 8インチ角 まで
マスク 対応サイズ 9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mm
Z 動作 : 1500µm
回転 : ± 3.5°
精度 -
露光 時間 0.1s~99.0s(0.1s間隔)もしくは 1s~999s(1s間隔)
モード : 解像度 プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ)
ソフトコンタクト: 2µm
ハードコンタクト: 1µm
バキュームコンタクト : sub-µm
スループット -
付帯設備 電源 : 110V もしくは 220V (仕様による)
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 940mmH x 788mmW x 635mmD

Model 200IR IR方式両面マスクアライナー R&D用
写真:Model 200IR IR方式両面マスクアライナー

Model200にIR方式両面アライメント機能を追加したモデル。
IR方式の為、両面パターニングを安価に導入できます。

モデル 200IR
基板 対応サイズ 8インチ角 まで
マスク 対応サイズ 9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mm
Z 動作 : 1500µm
回転 : ± 3.5°
精度 両面:<± 3µm (250um厚以下) <± 5µm (両面研磨基板)
露光 時間 0.1s~99.0s(0.1s間隔)もしくは 1s~999s(1s間隔)
モード : 解像度 プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ)
ソフトコンタクト: 2µm
ハードコンタクト: 1µm
バキュームコンタクト : sub-µm
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 940mmH x 788mmW x 635mmD

Model800MBA: セミオート両面マスクアライナー R&D・量産用
写真:Model800MBA: セミオート両面マスクアライナー

Model 800MBAセミオート両面マスクアライナーは、光学両面アライメント機能を兼ね備えたハードパッケージに搭載されたシステムです。装置に任せる事が可能でセミオートで動作します。
R&Dで光学式な両面アライメントが可能な他、量産機としての使用にも適しています。

モデル 800MBA
基板 対応サイズ 8インチ角 まで
マスク 対応サイズ 9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mm
Z 動作 : 3000µm
回転 : ±4°
精度 片面:0.5~1µm
両面:<2µm(3σ)
露光 時間 1s-3200s (0.1s間隔)
モード : 解像度 ソフトコンタクト: 2µm
ハードコンタクト: 1µm
バキュームコンタクト : sub-µm
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1829mmH x 1270mmW x 813mmD

Model 6000 全自動量産マスクアライナー 量産用
写真:Model 6000 全自動量産マスクアライナー

Model 6000はフルオートマチック、オールコンピューター制御、光学裏面密着露光の機能を兼ね備えたマスクアライナーシステムです。スループットは1時間に180ウェハが可能。半導体やMEMSの生産ラインに適したモデルです。企業の生産工業に適し、中小企業用として、研究開発用途から中量産使用についてコストパフォーマンス高く導入できます。

モデル 6000
基板 対応サイズ 50mm~200mmウェハ/角 もしくは
200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm厚 7mm~10mm反り量
マスク 対応サイズ -
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±6.5mm
Z 動作 : 1500µm
回転 : ±5°
精度 片面:0.5µm
両面:<2µm(3σ)
露光 時間 1s-999s (0.1s間隔)
モード プロキシミティ、 ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、 バキュームコンタクト
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1651mH x 2184mmW x 1364mmD

Model6000E : 大型基板向けマスクアライナー R&D、量産用
写真:Model6000E : 大型基板向けマスクアライナー

Model 6000Eは大きめのフォーマットに適したマスクアライメント露光システムです。フラットパネルディスプレイやその他の大型基板(最大20″×20″まで)のプロセス需要に対応します。

モデル 6000E
基板 対応サイズ 500mm角まで
マスク 対応サイズ -
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±6.5mm
Z 動作 : 1500µm
回転 : ±5°
精度 片面:<0.5µm(3σ)
露光 時間 1s-999s (0.1s間隔)
モード プロキシミティ、 ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、 バキュームコンタクト
スループット -
付帯設備 電源 : 400V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1905mH x 1422mmW x 1143mmD

Model2000 エッジビード露光システム 量産用向け
写真:Model2000 エッジビード露光システム

Model 2000はフラッド露光またはエッジビード露光が可能なフルオートマチックタイプの装置です。
シャドウマスク技術が貴重なエッジビード除去工程を必要とする製品製造を容易にします。

モデル 2000
基板 対応サイズ 12インチ径まで
マスク 対応サイズ -
アライメント ステージコントロール -
精度 -
露光 時間 1s-999s (0.1s間隔)
モード -
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1727mH x 1041mmW x 914mmD

UV光源

写真:UVライトソース/Series30:スタンドアローンタイプ UVライトソース原理
  • UV光源とは、特定の紫外線波長を発する光源/ランプです。
    半導体、太陽電池(ソーラー)、バイオ/医療、UVキュア(硬化)など多くの用途に用いられます。
  • OAI社のコリメート光源およびUV露光装置は、Near UVからDeep UVまで対応しています。スタンドアロンUV光源メーカーのリーダーとして、最高品質のミラー、レンズコーティング、ユニフォーミティ、そして優れた設計といった光学技術の経験蓄積をOAI社は有しています。その結果、それぞれのUV光源は最もニーズが高い仕様に対する認証を得ています。さらに、OAI社のUV光源はOAI製のマスクアライナーにモジュールとして組み込み可能な為、将来マスクアライナーが必要となった場合のコスト低減に寄与します。UV光源のユニフォーミティを測定するには、OAI製のUV照度計をご使用ください。

UV光源のラインナップ
モデル タイプ ビームサイズ 波長帯域 出力レンジ シャッタータイム
Model 30 UVライトソース 2" - 12" 220-450nm 200-5kW 0.1-999秒 スタンダードタイプ
Model 30E UVライトソース拡張タイプ 同上 同上 同上 同上 基板引出し機構と
回転チャック付き
Model 30 Grande 大面積UVライトソース 12" - 1m 同上 同上 同上 大型基板用

UVライトソース Series30:スタンドアローンタイプ
写真:UVライトソース Series30:スタンドアローンタイプ

シリーズ30は様々なアプリケーションを意図した高効率な光源です。このUV光源は様々なランプが搭載されていることにより、多様で適切なビームサイズを選択することができます。

UV照度計

  • UV照度計とは、紫外線の様々なパラメーターを測定する為の装置です。光量、強度などを測定する為に、パワーメーター、ラジオメーター、エネルギーアナライザーなどの種類があります。
  • OAIのUV照度計には以下の特徴があります。
    ・RoHS およびCE準拠
    ・取り外し可能なシングルまたはデュアル波長プローブ
    ・自動レンジング、デジタル表示
    ・光の強度はミリワット/cm2にて測定
    ・NIST準拠の正確性
    ・データログ用のハイスピードシリアルポート

UV照度計のラインナップ

UVパワーメーター、UVラジオメーター

model タイプ 対応波長帯域 強度レンジ 精度
Model308 ハンディUV照度計 200nm - 540nm 0 - 1999 mW/cm2 ±3%
Model308DH データロガー付きハンディUV照度計 200nm - 540nm 0 - 1999 mW/cm2 ±3%
Model308HI 高強度向けプローブ付きハンディUV照度計 200nm - 540nm 2000 - 7500 mW/cm2 ±3%

UVエネルギーアナライザー

model 適応機種 対応波長帯域 エネルギーレンジ 強度レンジ 精度
Model311 すべてのアライナー DUV,MIDUV,NUV 0 - 199.9 mj 2 - 400 mW/cm2 ±3%
Model316 Perkin-Elmer プロジェクションアライナー 100, 200, 300 NUV 0.1 - 1000 mj 0.1 - 1000 mW/cm2 ±3%
Model317 SVGL(ASML), Perkin-Elmer プロジェクションアライナー MIDUV,NUV 0 - 9999 mj 16 - 1600mW/cm2 ±3%
Model356 すべてのアライナー DUV,MIDUV,NUV 0 - 9999 mj 0.1 - 400 mW/cm2 ±3%
Model357/457 ASML, GCA Nikon, Canonステッパー 365,400,420,436nm 0 - 9999 mj 16 - 1600mW/cm2 ±1.5%(NB),±3%(NB)
Model358/458 ASML, GCA Nikon, Canonステッパー 365,400,420,436nm 0 - 9999 mj 40 - 4000mW/cm2 ±1.5%(NB),±3%(NB)
Model459 Ultratechステッパー 365,400,420,436nm 0 - 9999 mj 6000mW/cm2まで ±3%

UV照度計の校正サービス

25年以上にわたり、OAI社は紫外線(UV)を測定するNISTに準拠した校正(キャリブレーション)のグローバルリーダーです。OAI社のUV照度計は元々は半導体ウェハ製造業界向けに開発され、業界でも最も信頼性・再現性が高いNIST準拠の校正(キャリブレーション)を提供してきました。今では世界中の主たる半導体ウェハ製造業者において、OAI社のUV照度計がスタンダードな測定器として採用されています。

そしてまた、上述の正確さの保証に加え、迅速で効率的な校正サービスである事もOAI社のUV照度計校正サービスの特徴です。

UV照射計の校正の流れ

協同インターナショナルはOAI社の正規代理店です。その為、UV照度計の校正サービスに伴う貿易上の手続きを簡略化する事が可能です。

電子MEMS製品・サービスへのお問い合わせ
TEL:044-852-7575(電子部)
FAX:044-854-1979(代)
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