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電子部
TEL)044-852-7575
FAX)044-854-1979

タイトル「電子 MEMS」:スパッタリングターゲット、受託ターゲットボンディング、受託成膜およびエッチング加工、半導体装置消耗部品、ドライアイス洗浄、MEMSファンドリー、ナノインプリントリソグラフィーなど

スパッタリングターゲット販売・成膜加工・エッチング加工・半導体製造装置消耗パーツ販売・CO2洗浄・MEMS関連商品/サービスといった技術を組み合わせ、開発・試作・量産のお客様の様々な事業課題に最適なソリューションをご提供いたします。
豊富な成膜技術と加工実績により、広範なニーズに応える研究開発をサポートします。バイオチップ・MEMSの受託製造・加工もご相談ください。

2010.3.10

第1回 高機能フィルム技術展 〜フィルムテック ジャパン〜内特設フェア、『第1回ナノインプリント技術フェア』へ出展致します。

2010.1.29

微細パターンへのコーティング技術 ファインモス』、『パワーデバイス用裏面電極成膜』のページを公開しました。

2010.2.20

『nano tech 2010 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議』へのご来場、ありがとうございました。

成膜・エッチング受託加工
スパッタリングターゲット及びボンディング加工
シリコン(Si)ウェハ基板の画像 バイオチップ・MEMSの受託製造・加工もご相談ください。ドライ&ウェット・エッチング等によるパターンの微細加工の受託サービス。
小径〜大型基板までスパッタリングターゲット(薄膜材料)の画像 独自のデータと技術で、ターゲット及びボンディングの高品質化・低コスト化を実現。
MEMSトータルソリューション
ナノインプリント(NIL)トータルソリューション
シリコンVIA(貫通電極)を使ったマイクロミラーアレイの画像 試作〜量産までのファンドリサービスや、MEMS開発者向けのツールを提供。
Si(シリコン)モールドとアクリル転写品の画像 微細転写用モールド(金型)製造、受託転写加工、エンジニアリングなど。
半導体製造装置用消耗パーツ&パーツ再生
精密洗浄の受託サービス
半導体製造装置(インプラ、エッチャー、スパッタ等)の消耗パーツ及び再生の画像 豊富な技術情報と精密加工技術により、交換部品の設計製作から改良提案まで。
ドライアイス洗浄による電極部品の洗浄画像 独自のドライアイス洗浄やウェット、ブラスト洗浄による、精密洗浄の受託サービス。
*さらに詳しくは・・・
精密洗浄受託サービス(専用ページ)
ドライアイスブラスト洗浄機
磁性流体、真空シール、磁区観察用ツール
ドライアイスブラスト洗浄装置の画像 川崎ものづくりブランドロゴ環境に配慮し、作業効率を大幅に向上させた画期的なドライ洗浄を実現する、弊社オリジナルのドライアイス洗浄機。
磁性流体を用いたロボット向け真空シール画像 大気用防塵シールから超高真空装置用シールまで、磁性流体を応用した各種商品。

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