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電子部
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ドライアイス洗浄によりクリーンな洗浄を実現。受託洗浄の受け入れから出荷まで。

半導体、フラットパネルディスプレイ製造プロセスは日々進化し、超微細化における品質要求は、益々厳しくなっております。弊社のドライアイス洗浄はエレクトロニクス分野に応用する独自性が認められ、特許認可を得るに至りました。 (特許NO:3030287)

弊社では、長年培った経験・実績を基に、最適な洗浄方法をお客様にご提案し、受託洗浄事業を展開しております。

使用工程 (イオン注入、スパッタ、CVD、エッチング...)
機種名
デポ種 (使用ガス)
より具体的に情報を頂けると、見積りもスムーズです。
弊社で実績のないものは、テスト洗浄から行い、洗浄レシピを確立します。
1週間前後


(アルミアノダイズ皮膜付電極洗浄)
0.3mm粒経のドライアイスパウダーが、
より一層の洗浄効果をもたらします!

(洗浄前)

(洗浄後)

イニシャル洗浄効果
  • 新品部品の表面洗浄を行い、新品部品交換時の初期発生パーティクルを低減します。
  • サブミクロン世代では、低パーティクルを目的としたイニシャル洗浄が求められています!
洗浄方法 材質
Al2O3バルク Y2O3溶射
未洗浄
赤丸枠がパーティクルそのもの!

ケミカル洗浄後
除去効果はいまひとつ!

ドライアイス洗浄後
滑らかな表面状態。
パーティクルは完全除去!
洗浄方法 材質
シュウ酸アルマイト 硫酸アルマイト
未洗浄

ケミカル洗浄後

ドライアイス洗浄後
*さらに詳しくは・・・
精密洗浄受託サービス(専用ページ)

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