 
 電子部
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FAX)044-854-1979
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| 材料 |
| Ag, Ag-alloy |
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Pb |
| Al, Al2O3, AlN, Ai-Si, Al-Cu, Al-Si-Cu, Al-Ti, Al-Nd |
Pd |
| Au, Au-Sn, Au-Zn, Au-Ge, AZO |
Pt, Pt-Ir |
| Ba |
Ru, Rh |
| C |
Sb |
| Co, Co-Fe |
Si, SiO2, Si2N4, SiC, Si-Ta |
| Cr, Cr2O3, Cr-SiO |
Sn, SnO2 |
| Cu, Cu2O |
Sr, SrTiO3 |
| Fe, Fe2O3, Fe-Al |
Ta, Ta2O5, TaN, Ta-SiO2 |
| Ge, GZO |
Ti, TiO2, TiN, Ti-Al |
| Hf |
W, W-Si |
| In, Ir, Ir-Re, ITO, IZO |
Y, Y2O3 |
| Mo, MoSi2, MoW |
Yb, Yb2O3 |
| Nb |
Zn, ZnO, Zn-Ni |
| Ni, Ni-Cr, Ni-Cu, Ni-Fe |
Zr, ZrO2, ZrO2+Y2O3 |
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| 形状（バッキングプレートサイズ） |
| 最大サイズ |
1400mm x1400mm（枚葉式） |
| 最小サイズ |
400mm x 1800mm（インライン式） |
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