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ISO14001

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電子営業部
TEL)044-852-7575
FAX)044-854-1979

タイトル:マイクロ流体チップ、マイクロフルイディクス(microfluidics)、マイクロタス(μTAS)、ラボチップ(lab on a chip)、ファウンドリ(ファウンドリー)サービス。ガラス、PDMSなどの材料の微細加工も受託加工致します。micronit社の製品も

光透過性が高く、溶剤にも強い素材。ドライエッチング・ウェットエッチングによる微細加工や、オプティカルコンタクトや溶着接合など、多様な貼り合せ加工が可能。また、オランダMicronit microfluidics社との提携により、電極を間に挟み込んだ隙間の無いガラス接合も可能。

ドライエッチング加工例 ウェットエッチング加工例 電極付きチップ加工例

PDMSは、ポリジメチルシロキサンの略称で、シリコーン樹脂の一種。低価格で透明性に優れた生体適合性の素材。チップ作製にあたっては、Siモールド(金型)やレジストモールドを使用して転写成型します。

チップ写真 Siモールド微細パターン
を転写した例
レジスト型を転写した例

アクリル、COC、PETなどの汎用的な樹脂素材から、生体適合性が高い特殊開発樹脂まで、様々な樹脂素材の加工が可能です。
チップ製作にあたっては、ナノインプリント加工を用います。(ナノインプリント加工についてはこちら

Si基板に微細加工し、ガラスと陽極接合したチップの製作が可能です。Siを半導体技術で加工する事により、高アスペクト比のパターン等を形成可能です。

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